Sistema de nanoposicionamento multieixos SMARPOD P-SLL

hexápode

O SMARPOD P-SLL utiliza três carruagens da série SLL para realizar longos percursos. O SMARPOD P-SLL é baseado em estágios SLC para o movimento na direção Y e um estágio SLL na direção X. Devido a esta combinação específica de diferentes estágios lineares, o P-SLL oferece uma faixa de deslocamento extremamente grande na direção X de até 1200 mm, mantendo uma pequena pegada na direção Y. Também está disponível na versão compatível com alto vácuo. Mecânica Viagem [mm] - 20 ... 1200 (X); 45 ... 119 (Y); ≤ 16 (Z) Viagens [ - ≤ 42 (Θx); ≤ 33 (Θy); ≤ 42 (Θz) Max. Força Normal [N] - 10 Max. Força Horizontal [N] - 5 Dimensões [mm] - > 250 x 93 Altura da plataforma acima do solo [mm] - 67,5 Peso [g] - 300 ... 2000 Fechado-Loop Tipos de sensores - S; SC Incremento mais pequeno [nm] - 1 Incremento mais pequeno [µrad] - 1 Repetibilidade de loop fechado, Curso completo MCS2 [nm] - < ± 200 Repetibilidade de loop fechado, 1 mm de curso MCS2 [nm] - < ± 10 Repetibilidade de loop fechado, Curso completo MCS2 [µrad] - < ± 15 Opções Opções de Vácuo - HV (1E-6 mbar)