Resistência de aquecimento plana

em nitreto de boro pirolítico (PBN)

Elemento O nitreto de boro pirolítico de alta pureza e alto desempenho é utilizado como substrato para o elemento de aquecimento PBN. A grafite pirolítica (PG) é colocada na superfície das placas de PBN pelo método CVD como condutor e aquecedor. Como tanto o PG como o PBN são extremamente puros e muito estáveis no vácuo ou em atmosfera inerte, o elemento de aquecimento PBN-PG pode ser muito durável e manter a câmara limpa. Pode ser aquecido a 1600°C num tempo muito curto sem a emissão de qualquer componente gasoso. Estes elementos de aquecimento são produtos ideais para a indústria de semicondutores e aplicações que requerem alta temperatura, alto vácuo e alta pureza.