Cadinho para a indústria dos semicondutores

cerâmicopara aplicações a altas temperaturasde alumínio

Visão geral do produto
Os cadinhos condutores de nitreto de boro da INNOVACERA são projetados para processos de evaporação por feixe de elétrons e evaporação térmica na fabricação de semicondutores e filmes finos. A superfície condutora com baixa molhabilidade e a composição de alta pureza protegem os substratos contra contaminação e permitem a evaporação controlada de metais e materiais cerâmicos. Indicados para fusão de ligas, sinterização de terras raras e cerâmicas, além de diversas aplicações de revestimento.

Propriedades principais e usos
Estes cadinhos apresentam excelente resistência a altas temperaturas e bom desempenho frente a ciclos térmicos. São quimicamente estáveis em relação a muitos metais e cerâmicas de terras raras e permanecem íntegros sob aquecimentos e resfriamentos rápidos. Usos típicos: evaporação por feixe de elétrons, evaporação térmica por aquecimento por indução ou resistivo, deposição de alumínio e silício, e outros processos de deposição de filmes finos.

Benefícios

• Alta pureza e acabamento superficial fino que reduzem contaminação e melhoram a qualidade do filme.
• Aumento das taxas de evaporação possibilitando deposições mais rápidas e redução dos tempos de ciclo.
• Melhor estabilidade térmica que reduz a demanda de energia e aumenta a consistência do processo.
• Vida útil prolongada que reduz paradas e a frequência de substituição.

Vantagens / Características

• Excelente resistência a altas temperaturas e ciclos térmicos repetidos.
• Baixa expansão térmica e baixa molhabilidade pela maioria dos metais fundidos.
• Resistente ao calor até 2000℃; o nitreto de boro não reage com o alumínio e não é volátil.
• Taxa de evaporação aumentada: ciclos de processo mais curtos e rendimentos totais melhorados.
• Mudança rápida de material: minimiza o tempo de inatividade da câmara e acelera as trocas de produção.
• Estabilidade térmica aprimorada que assegura evaporação consistente e controlável.

Especificações técnicas

• Ingredientes principais: BN + TiB2
• Densidade: 3.0 g/cm3
• Composição do ligante: B2O3
• Cor: Cinza
• Resistividade à temperatura ambiente: 300-2000 Ω·cm
• Temperatura de operação: abaixo de 1800℃
• Condutividade térmica: > 40 W/m·K
• Coeficiente de expansão térmica: (4-6) x 10⁻⁶ K⁻¹
• Resistência à flexão: > 130 MPa
• Taxa de evaporação: 0.35-0.5 g/min·cm²