Cerâmica circular

em discoem aluminade isolamento

Os anéis de focagem em cerâmica de alumina foram concebidos para melhorar a uniformidade da gravação em torno do bordo ou do perímetro da bolacha. Quando utilizado com um mandril eletrostático (e-chuck), a bolacha assenta no anel de focagem da extremidade - mantido no lugar pela carga eletrostática. Os anéis de focagem de cerâmica de alumina são componentes críticos no equipamento de gravação a plasma, principalmente na câmara de gravação. Os anéis estão estrategicamente posicionados para otimizar a distribuição do plasma e manter a uniformidade durante o processo de gravação. Os processos de fabrico de semicondutores exigem o funcionamento em ambientes de sala limpa, especialmente para componentes utilizados em condições de alta temperatura, vácuo e gases corrosivos. Os materiais cerâmicos mantêm uma elevada estabilidade nestes ambientes físicos e químicos complexos. O anel de foco cerâmico é uma peça crítica para o processo de gravação de semicondutores. Quando a liga de alumínio é escolhida como material da câmara de corrosão, pode facilmente causar contaminação por partículas metálicas. Por conseguinte, a cerâmica de alumina de elevada pureza (mais de 99,5%) é utilizada no fabrico de anéis de foco cerâmicos como material da câmara para equipamento de gravação a plasma. Caraterísticas dos anéis de foco de cerâmica： -Resistência ao desgaste, -Resistência à corrosão, -Excelentes propriedades mecânicas, -Isolamento elétrico, -Cumprem as normas de qualidade dos produtos semicondutores.