Cerâmica circular

em discoem aluminade proteção

Disco de alumina para suporte de bolacha semicondutora e anel de borda de cerâmica Os componentes cerâmicos de alta precisão melhoram a gestão do rendimento no processamento de bolachas semicondutoras. Os componentes cerâmicos Innovacera proporcionam uma estabilidade dimensional precisa, ultraplaneidade e suavidade, e fixação sob vácuo das bolachas durante a inspeção e o processamento. As configurações de contacto de baixa superfície minimizam o risco de partículas no lado posterior afectarem negativamente a geometria da bolacha para aplicações de precisão. O anel cerâmico da INNOVACERA apresenta as seguintes vantagens 1. Resistência ao desgaste e à abrasão: A alumina é uma cerâmica técnica resistente com muito boa resistência ao desgaste. 2. Dimensões de alta precisão com tolerância de aperto, facilitam a obtenção de uma relação de encaixe perfeita. 3. Inércia química, resistente à maioria dos ácidos e álcalis fortes. 4. Capacidade para altas temperaturas: suportam até 1600°C em atmosferas oxidantes e redutoras. 5. Excelentes propriedades mecânicas, a dureza, a resistência à compressão e à flexão são muito superiores no aço inoxidável. 6. Isolamento elétrico: A rutura do isolamento é de, pelo menos, 20KV. 7. Atmosferas de proteção ou alto vácuo a altas temperaturas para eliminar a contaminação ou impureza. 8. Resistência à corrosão química a altas temperaturas, mesmo com ácidos ou álcalis fortes. 9. Baixo custo do material em aplicações de alto nível do que outras cerâmicas técnicas.