O anel de foco de cerâmica é uma peça crítica para o processo de gravação de semicondutores. Quando a liga de alumínio é escolhida como material da câmara de gravação, pode facilmente causar contaminação por partículas metálicas. Por conseguinte, a cerâmica de alumina de elevada pureza (mais de 99,5%) é utilizada no fabrico de anéis de foco cerâmicos como material da câmara para equipamento de gravação a plasma.
Caraterísticas dos anéis de foco de cerâmica:
-Resistência ao desgaste,
-Resistência à corrosão,
-Excelentes propriedades mecânicas,
-Isolamento elétrico,
-Cumprem as normas de qualidade dos produtos semicondutores.
A Innovacera tem uma vasta experiência em soluções técnicas de cerâmica, componentes cerâmicos avançados e indústria de semicondutores há mais de 10 anos. Estabelecemos um elevado padrão de sistema de qualidade e um rigoroso processo de controlo de qualidade, cada lote de produtos é submetido a uma rigorosa inspeção de qualidade. A filosofia de serviço da Innovacera é satisfazer os requisitos de qualidade e a satisfação do cliente.
Se precisar dos anéis de foco de cerâmica de alumina, contacte-nos.
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