Cerâmica circular

em aluminade nitreto de borode proteção

A câmara de anel de inserção de cerâmica de alumina é uma variante especializada de componentes resistentes ao plasma, aproveitando as propriedades únicas da alumina (Al₂O₃) para funcionar em ambientes extremos de plasma. Os ambientes de câmara de anel de inserção de cerâmica de alumina através de alta resistência ao calor, isolamento elétrico e resistência à pulverização, servindo como uma barreira protetora e estabilizadora. Protege componentes críticos (por exemplo, eléctrodos, sensores) do bombardeamento de iões e da erosão química, evita fugas de corrente/arcos, assegura uma distribuição uniforme do plasma (por exemplo, na gravação de semicondutores) e resiste à contaminação por gases reactivos (por exemplo, Cl₂, F₂). Apesar da fragilidade e da resistência limitada ao choque térmico, o reforço ou os revestimentos compostos (por exemplo, nitreto de boro) melhoram a sua utilização em aplicações extremas, como semicondutores e aeroespaciais, equilibrando o custo e o desempenho.