O filtro de massa quadrupolar da Innovacera, abreviado como quadrupolo, é o componente central do espectrômetro de massa quadrupolar. É geralmente composto por quatro hastes metálicas paralelas cilíndricas ou hiperbólicas. Dois pares de eletrodos são aplicados: tensão contínua (DC, U) e tensão de radiofrequência (RF, V·cos(ωt)). O analisador de massa quadrupolar separa íons com base na estabilidade da trajetória iônica no campo elétrico oscilante.
Tabela de parâmetros estruturais:
- Opções de material: Cerâmica banhada a ouro/Aço inoxidável/Molibdênio
- Diâmetro das hastes: 2-16mm
- Comprimento das hastes: 100-300mm
- Base: Cerâmica de alumina/Cerâmica de vidro usinável
- Precisão abrangente: ≤3μm
Propriedades do material de cerâmica de alumina a 99%:
- Cor: Marfim
- Principais características: Excelente resistência à corrosão por plasma, alta resistência ao desgaste.
- Campo de aplicação: Componentes de equipamentos semicondutores, peças resistentes ao desgaste e à corrosão.
- Densidade: 3.88 g/cm3
- Absorção de água: 0%
- Dureza Vickers: 17 HV
- Resistência à flexão: 350 MPa
- Resistência à compressão: 2450 MPa
- Módulo de Young: 350 GPa
- Coeficiente de Poisson: 0.22
- Tenacidade à fratura: 4-5 MPa·m1/2
- Coeficiente de expansão linear (40-400°C): 8.2 x10-6/°C
- Condutividade térmica (20°C): 25-30 W/(m·k)
- Calor específico: 0.8 J/(kg·k)x103
- Resistividade volumétrica (20°C): >1015 Ω·cm
- Resistência dielétrica: 20 KV/mm
- Constante dielétrica: 9.2
- Coeficiente de perda dielétrica: 2 x10-4
- Perda de peso em ácido nítrico (HNO3) (90°C): 1015 Ω·cm, Resistência dielétrica 20 KV/mm, Constante dielétrica 9.2, Coeficiente de perda dielétrica 2 x10-4, Temperatura máxima de uso 1500°C