Vacuômetro de cátodo frio

de ionizaçãode cátodo quente

Visão geral
O medidor de ionização para alto vácuo INNOVACERA mede o grau de vácuo em sistemas de laboratório, industriais e de pesquisa. Ioniza as moléculas de gás em uma câmara dedicada e mede a corrente resultante de íons/elétrons para determinar a densidade do gás e o nível de vácuo. Disponível nas variantes cátodo quente, cátodo frio e fonte radioativa, conforme a aplicação e a faixa de pressão.

Princípio de funcionamento
O medidor é composto por uma câmara de ionização e um coletor de elétrons/íons. As moléculas de gás que entram na câmara são ionizadas por filamentos aquecidos, feixes de elétrons ou outras fontes de ionização. Íons positivos (ou elétrons, dependendo do projeto) são coletados por um campo elétrico, gerando uma corrente mensurável proporcional à densidade das moléculas de gás. Um aumento na corrente medida corresponde a maior densidade de gás (vácuo menor); uma diminuição indica menor densidade (vácuo maior).

Faixa de medição

• Usar alta tensão e uma câmara de ionização maior para medições em pressões muito baixas
• Usar baixa tensão e uma câmara menor para medições em pressões mais altas

Faixa nominal de medição: 0,1 ~ 10^-8 Pa

Especificações técnicas

• Tipo de produto: Medidor de ionização para alto vácuo
• Fabricante: INNOVACERA
• Princípio de medição: Ionização das moléculas de gás em uma câmara com coleta de partículas carregadas; medição da corrente resultante proporcional à densidade do gás
• Métodos de ionização: Cátodo quente (filamento aquecido), cátodo frio, feixe de elétrons, fonte radioativa (dependendo do tipo)
• Operação recomendada: alta tensão + câmara grande para pressões muito baixas; baixa tensão + câmara pequena para pressões mais altas
• Faixa nominal de medição: 0,1 ~ 10^-8 Pa

Aplicações

• Sistemas de vácuo em laboratórios e instalações de pesquisa
• Processos industriais a vácuo: deposição de filmes finos, fabricação de semicondutores, tratamento de superfícies
• Metrologia de vácuo e laboratórios de calibração

Instalação e manutenção
Instale o medidor em uma flange de vácuo compatível com feedthroughs elétricos e aterramento adequado. Mantenha a limpeza para evitar contaminação da câmara de ionização. Calibre periodicamente em relação a uma referência. Substitua filamentos ou fontes radioativas conforme as instruções do fabricante e siga os procedimentos de segurança para tipos radioativos.