相対圧力センサ SE103

絶対シリコンMEMS

モデルSE103は、ゲージ圧（相対圧）または絶対圧測定用のピエゾ抵抗圧力センサーとして設計されています。センサーダイは、MEMS技術による6″ウェハー・シリコンオン・シリコンプロセスで製造されます。モデルSE103のフットプリントは1.7mm x 1.7mmです。 SE101と比較して、SE103はシリコン制約の代わりに、シリコン膜と一緒にキャビティ構造を持っています。これにより、SE103はより低い非直線性誤差を達成し、その制約なしにゲージ測定や差動測定に使用することが可能です。 非補償型センサーダイとして設計されたSE103は、4つのはんだパッドからなるクローズド・ブリッジ回路でご利用いただけます。 パッケージングの前に、各SE103センサーダイはテストされ、検査されます。 さまざまなマーケティング要求に対応するため、オプションとして3種類のパッケージが用意されています。