絶対圧力センサ SE102

ピエゾ抵抗型アナログプロセス

モデルSE102はピエゾ抵抗圧力センサーダイとして設計されています。その設計により、モデルSE102は高過負荷圧力（HOP）、すなわち高プルーフ圧力と高バースト圧力を特徴としています。HOPにより、このセンサーダイは、アプリケーションの過渡プロセス中に大きな圧力ピークに耐えることができます。この圧力センサーのダイは、MEMS技術による6″ウェハー・シリコンオン・シリコンプロセスで製造されています。その圧力ダイアフラムのユニークな設計により、SE102は出力信号の高感度と過負荷圧力に対する並外れた耐性を兼ね備えています。 このモデルは絶対圧、ゲージ圧、または差圧測定用に設計されています。ゲージ圧または差圧リファレンスには、2種類の構造があります。1つはシリコン・オン・シリコン構造、すなわちシリコン制約のある構造で、もう1つはシリコン制約のない構造です。 非信号調整センサー・ダイとして、標準のSE102は、ブリッジ調整と温度補償の両方のために5つのはんだパッドを備えたオープン・ブリッジ回路で利用可能です。 梱包前に、各SE102センサー・ダイは個別にテストされ、仕様に適合しています。 さまざまなマーケティング要求に対応するため、オプションとして3種類のパッケージが用意されています。