絶対圧力センサ SE105

ピエゾ抵抗型MEMSアナログ

SE105型は，フリップチップ構造のピエゾ抵抗型圧力センサーのダイとして設計されています。絶対圧基準の圧力測定用に開発されました。 センサーのダイは、MEMS技術による6″ウェハー・シリコンオンシリコンプロセスで製造されています。SE105は、独自のフリップチップ構造により、従来のセンサダイ構造と比較して、より過酷な環境に対応（ホイートストンブリッジ回路が圧力媒体に侵されないため）、ダイボンディングプロセスの簡素化（従来のワイヤーボンディング工程が不要で、表面実装デバイスとして回路上に簡単に取り付けられるため）など、様々な優位性を備えています。 非信号調整型センサーダイとして、標準のSE105は、ブリッジ調整と温度補償の両方のために4つのはんだパッドを備えたクローズドブリッジ回路で利用可能です。 梱包する前に、SE105センサーの金型は1つ1つテストされ、その仕様に適合していることが確認されています。 3種類のパッケージをオプションとして用意し、さまざまなマーケティングニーズに対応します。