ウェハー用コントロールモジュール VULCANO XYT

3軸

VULCANO XYTプラットフォームは、RTTBロータリーモジュールを装備した標準 VULCANO XYで構成され、優れた機械軸受に結合された高解像度エンコーダを含んでいます。 このプラットフォームの使用は以下の用途に適していますが、これらに限定されません。 -オーバーレイ計測、クリティカル寸法、薄膜計測などのウェーハプロセス制御アプリケーション -バックエンド：大きなパネル/基板上で作られた特定のフリップチッププロセス 特性 -コンパクトフットプリント - ナノメーター位置安定性 -短い移動時間とセトリット時間 -高ダイナミクス-高い双方向再現性 -高い位置安定性 -ISOクラス1クリーンルーム対応