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XY軸ポジショニングステージ MS15
トランスレーション圧電2軸

XY軸ポジショニングステージ - MS15 - mechOnics ag - トランスレーション / 圧電 / 2軸

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mechOnics agのサイトについての詳しい情報

特徴

方向: XY軸, トランスレーション
タイプ: 圧電
軸の数: 2軸
その他の特徴: コンパクト, 小型
ストローク: 3 mm
(0.118 in)
速度: 1.5 mm/s
積載量: 6 g
(0.21 oz)

詳細

コンパクト設計最小の製品ピエゾ電気慣性駆動の超小型並進ステージ。技術データ幅 - 15 mm 高さ - 7 mm 奥行き - 15 mm 最大荷重荷重（2軸） Mx、My、Mz（運動量） - 4 Ncm ブロック力 (Fx, Fy) - 3 N 支持力（Fz） - 20 N 誘導精度ヨー角 - 20 arc sec ピッチ角 - 60 arc sec 垂直偏差 - 1 um 横方向偏差 - 2 um

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