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回転ポジショニングステージ MT25圧電2軸真空対応
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特徴
- 方向
- 回転
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 2軸
- その他の特徴
- 真空対応, ミラー傾斜
- ストローク
9 mm
(0.354 in)
詳細
10^(-6)mbarまでの高真空条件に対応
角度調整6°（+-3°）（2軸
ピエゾ電気慣性駆動によるキネマティックミラーチルトステージ。真空仕様
技術データ（ミラー傾斜ステージ）
角度調整 - 6
最高速度 - 25 mrad/s
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