トランスレーションポジショニングステージ MS15

XY軸圧電2軸

10^ （- 6） mbarまでの高真空の条件のため xおよびyの方向の3.5 mm旅行 15 x 15のmmの足跡 piezo折衷的な慣性ドライブが付いている超小さいミニチュア翻訳段階。MS15の真空の版。