X線検査機 XT V 160

CNDデジタル断層撮影CT

概要
ニコンのXT Vシリーズは、PCB、BGA、チップなどの電子部品の非破壊検査に対応するX線／CT検査装置群です。XiマイクロフォーカスX線源とInspect‑Xソフトウェアを組み合わせ、Low Dose CollimatorやESD Safety Upgradeなどのオプションにより、バッチ検査や敏感デバイスの保護に対応します。

主な特長

• PCB、BGA、ワイヤーボンディング（bond wires）、PTH、複雑パッケージの高解像度検査。
• Inspect‑XおよびPCB Analysis Suiteによる自動検査ワークフローで、合否判定プログラムとレポート作成を迅速に実行。
• 垂直配置のシステム構成と高精度マニピュレータ／ジョイスティック制御により、360°回転とインテリジェントな動作で注目領域を視野に維持。
• 自動衝突回避機能と操作者向けインターフェースで安全な運用を支援。
• Low Dose Collimatorオプションにより、放射線感受性の高い半導体の露光を最小化し大ロット検査を可能に。
• ESD Safety Upgradeオプションにより、検査中の業界基準に準拠したESD保護を提供。
• ダイヤモンドウィンドウ採用のXiマイクロフォーカスX線源、フィラメント交換可能な開放管設計。
• High Contrast Filter 2.0 等の画像強調機能により高・低コントラスト領域の詳細を可視化。

製品のハイライト

• 生産性 — Inspect‑Xによる自動検査の迅速なセットアップと、BGA・ワイヤー・複雑パッケージ向けの高度な測定。
• 安全性 — 自動衝突回避、Low Dose Collimator、オプションのESD Safety Upgradeによる継続的な保護。
• 操作性 — 傾斜可能なイメージャと直感的なマニピュレータを備えた垂直構成で、極端な斜め視野や360°回転を実現。
• データ品質 — ダイヤモンドウィンドウ採用のXiマイクロフォーカス源と統合ジェネレータで信頼性の高い運用。
• 画像処理 — High Contrast Filter 2.0 により欠陥解析を迅速かつ高精度に実施。

仕様（要約）
モデル — XT V 160 | XT V 130C
最大管電圧 — 160 kV | 130 kV
X線源 — 開放型（フィラメント交換可能、Xiマイクロフォーカス） | 開放型（フィラメント交換可能、Xiマイクロフォーカス）
高電圧ジェネレータ — 一体型ジェネレータ（HVケーブルの保守不要） | 一体型ジェネレータ（HVケーブルの保守不要）
特徴認識 — サブミクロン（XT V 160） | ミクロンレベル（XT V 130C）
視野角範囲 — 任意方向で最大82°（XT V 160） | 任意方向で最大79°（XT V 130C）
サンプルトレイ — カーボンファイバートレイ、直径580 mm | カーボンファイバートレイ、直径580 mm
筐体寸法（W×D×H） — 1,260 × 1,789 × 1,904 mm | 1,260 × 1,789 × 1,904 mm
システム重量 — 2,100 kg | 2,100 kg
ESD安全性 — オプションのESD Safety Upgrade（業界標準に準拠） | オプションのESD Safety Upgrade（業界標準に準拠）
主な用途 — R&D、QA/QC、故障解析向けの電子・半導体の自動／リアルタイム検査 | 電子部品のリアルタイム検査

産業用途

• 電子部品検査 — BGAの欠陥検出、ワイヤーボンディングの完全性解析、PCBのバッチ検査と自動合否ワークフロー。
• 半導体 — ESD保護と低ドーズワークフローに対応したバッチ検査；High Contrast Filter 2.0 による欠陥可視化。
• 品質検査ラボ — 自動化、X.Tractによる仮想断面での詳細解析、Heavy Duty Trayによる試料対応の拡張。
• 研究開発 — 高倍率CTアームと高度なイメージングで開発や故障解析を支援。

よくある質問（要約）

• 主な利点：画像解像度と拡大能の向上、重いサンプルへの対応力、敏感部品向けの保護オプション（ESD・低ドーズ）。
• ESD Safety Upgrade の重要性：静電気による損傷を防ぎ、業界のESD基準への適合を支援。
• Low Dose Collimator の役割：一次ビームの照射を最小限にし、非検査領域を遮蔽して大ロット検査を可能にする。
• 電子部品検査への適合性：Xi源、Inspect‑X、精密な動作制御を組み合わせた非破壊検査向けに設計。

技術仕様

• シリーズ／モデル：XT V series（XT V 160、XT V 130C）
• 最大管電圧：XT V 160 = 160 kV / XT V 130C = 130 kV
• X線源：Xiマイクロフォーカス、開放管、フィラメント交換可能
• 高電圧ジェネレータ：一体型ジェネレータ（HVケーブル保守不要）
• 分解能：XT V 160 = サブミクロン、XT V 130C = ミクロンレベル
• 視野角：XT V 160 最大82°、XT V 130C 最大79°
• サンプルトレイ：カーボンファイバー、直径580 mm
• 筐体寸法（W×D×H）：1,260 × 1,789 × 1,904 mm
• システム重量：約2,100 kg
• ソフトウェア：Inspect‑X、PCB Analysis Suite、X.Tract
• 画像強調：High Contrast Filter 2.0
• オプション：Low Dose Collimator、ESD Safety Upgrade、High Magnification CT Arm、Heavy Duty Tray