XY軸ポジショニングステージ HL.500-XY

電動式手動式2軸

HL.500-XYシリーズステージは、クロスローラーベアリングを備えた精密XYステージで、重荷重下でも優れた安定性、直線性、最小のスティクションを実現するよう設計されています。このステージは標準よりも20％多くのベアリングを組み込んでおり、移動範囲全体での双方向の直線性が向上し、移動限界での性能が顕著です。手動アクチュエータ、差動マイクロメータ、オープンループおよびクローズドループドライブを含むさまざまな手動およびモーター駆動のアクチュエータをサポートします。各軸には、3gの衝撃下でもステージの位置を確保する個別の非影響ロックが備わっています。HL.500-XYは、MX-ABおよびMX-AB2垂直マウントブロックと互換性があり、100crまたは200crステージと組み合わせて高負荷XYZステージシステムを作成できます。

製品の特徴

• 低プロファイル設計
• 統合されたXY軸
• 非影響ロック
• 高負荷クロスローラーベアリング
• 真空対応バージョンあり

性能仕様

• 移動範囲：0.5インチ（12.5mm）
• 最大水平軸荷重：150ポンド、中心
• 最大垂直軸荷重：20ポンド、中心
• 最小制御可能な動き（調整ネジは別売）：
  • 40TPI：10 µm
  • 80TPI：サブミクロン
  • 127TPI：サブミクロン
• *最小制御可能な動きは、調整ネジの1°の回転に基づいています

特性 / 技術仕様

• ステージタイプ：XYクロスローラーベアリングステージ
• 移動：0.5インチ（12.5mm）
• 最大水平荷重：150ポンド（中心）
• 最大垂直荷重：20ポンド（中心）
• ロック機構：各軸の個別の非影響ロック
• 対応アクチュエータ：手動、差動マイクロメータ、オープンループおよびクローズドループドライブ
• マウント互換性：MX-AB、MX-AB2垂直ブロック；XYZ組立用100cr/200crステージ
• 真空対応：あり