リニアポジショニングステージ DLS-5252

圧電コンパクト-翻訳中-

ハイブリッドドライブステージは、長い移動距離のスティックスリップステージと高解像度のピエゾスキャナーの利点を兼ね備えています。 スマーアクトの他のハイブリッド・ドライブ・ステージと同様に、DLS-5252は、移動距離の長いスティックスリップ・ステージと高解像度のピエゾ・スキャナーの利点を組み合わせています。DLS-5252は、スマーアクトのモジュラーシステムと互換性があり、ステージはCLS-52ステージ、等価回転ステージ、すべてのアダプタープレートと接続エレメントに簡単に取り付けることができます。このステージは、2つの異なるドライブユニットで構成されていますが、MCS2のチャンネルは1つしか必要ありません。 メカニカル スキャンレンジ [μm] > 35 ブロッキングフォース [N] > 3.5 Max.ノーマルフォース [N] 5.0 Max.揚力 [N] > 1.5 重量 [g] - 130 寸法 [mm] 52 x 52 x 15 (L x W x H) 共振周波数（無負荷） [Hz] - > 350 クローズド・ループ クローズド・ループ分解能 MCS2 [nm] - 1 (S) スキャンカットオフ周波数 [Hz] - > 10