リニアポジショニングステージ MT63
モーター式単軸精密

リニアポジショニングステージ
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特徴

方向
リニア
タイプ
モーター式
軸の数
単軸
その他の特徴
精密, 産業用, 小型, ウェハー運搬用
ストローク

最少: 1 mm
(0.039 in)

最大: 25 mm
(0.984 in)

速度

最少: 1 mm/s

最大: 3.6 mm/s

繰返し精度

最少: 0.8 µm

最大: 5 µm

積載量

最少: 1 kg
(2.2 lb)

最大: 1.1 kg
(2.43 lb)

詳細

MT63 高精度マイクロステージ コンパクトな形状と内蔵モーターのおかげで、このマイクロステージはスペースが限られているアプリケーションに特に適しています。MT63は、高分解能、真直度、平面度の値を提供するだけでなく、特に魅力的な価格性能比を特徴としています。 組み合わせが簡単 MT63は、ステッピングモーターまたはDCモーターを使用でき、FMCシリーズの革新的なコントローラーを使用して簡単に制御できます。このマイクロステージを組み合わせて、2軸または3軸システムを構成することができます。 マイクロマシニングやマイクロアセンブリに適しています: MT63の代表的な応用分野は、マイクロマシニングやマイクロアセンブリ、研究開発です。 技術データ - トラベル:25 mm - 一方向再現性: ± 0.8 µm - 双方向繰返し精度: ± 3.8 µm - 精度: ± 6 µm - 位置決め速度: 1.8 mm/s - 最大加速度 0.04 m/s2 - 最大荷重負荷 Fx: 10 N - 最大荷重最大荷重 Fy:11 N - 最大荷重最大荷重 Fz: 11 N

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10-14 9月 2024 Stuttgart (ドイツ) ホール C2 - ブース 30

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