リニアポジショニングステージ MT105

圧電単軸クロスローラー

MT105 高いダイナミクスとスピードを備えたマイクロステージ MT105は、高いダイナミクスとスピードを特徴とするユニバーサル用マイクロステージです。そのサイズに比べ、ピエゾモータにより大きな移動量と非常に小さなステップサイズを実現しています。 フレキシブルでユニバーサル： MT105には精密クロスローラーベアリングが装備されています。オプションで、このマイクロステージに高荷重位置決め用モーターを2個搭載することも可能です。また、このステージはXYZシステムに簡単に組み合わせることができます。 厳しい環境に最適 研究開発の厳しい環境では、オプションの特別なソリューションが必要になることがよくあります。MT105マイクロステージは、高真空、超高真空、非磁性アプリケーションなどの過酷な条件下でも、卓越した加工精度と位置決め精度を達成できるように設計されています。 技術データ - トラベル：30 mm、50 mm、10 mm - 一方向の繰り返し精度： ± 0.4 µm - 双方向繰返し精度： ± 0.5 µm - 精度：±1.4 µm、±1.6 µm、±2.1 µm - 位置決め速度：50 mm/s - 最大加速度1 m/s2 - 最大荷重最大荷重 Fx：4 N - 最大荷重最大荷重Fy：55 N - 最大荷重最大荷重Fz: 55 N