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- アクチュエータ･位置決め装置
- XYZ軸配置システム
- Steinmeyer Mechatronik GmbH
ウェハー検査および計測学用配置システム 782430:002.26XYZ軸リニアクリーンルーム用
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特徴
- 軸の数
- XYZ軸
- 構造
- リニア
- 応用
- ウェハー検査および計測学用, クリーンルーム用
- その他の特徴
- DCモーター, ボールねじ, リニアモータ駆動, プロフィｰルレール上
- 繰返し精度
0.3 mm, 0.5 mm
(0.012 in, 0.02 in)- ストローク
100 mm, 820 mm
(3.94 in, 32.28 in)- 速度
150 mm/s, 750 mm/s
詳細
クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動測定できる検査装置です。高いダイナミクスと最高の再現性を実現します。高解像度のカメラやセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。
自動化された低メンテナンスの24時間365日検査
- ウェハー、プローブカード、プリント基板などの自動検査に最適です。
- 最大720mmまでの移動により、複数の対象物を同時に検査することが可能
- 2つのプロセスを同時に統合する場合に最適
- 花崗岩構造で高速システム交換が可能なため、低メンテナンスの24時間365日稼働と柔軟なメンテナンスコンセプトが可能
オプションで拡張可能
- クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望によりクラス 1 まで対応可能）
- 排気口および回転ベルトカバー用コネクター
- シングルポータルとしても使用可能
- サンプルソフトウェアを含む、設定済みコントローラーですぐに使えるコントロールシステム
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カタログ
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