単軸配置システム 782424:005.26

リニア回転式ウェハー検査および計測学用

ウェハー、生体試料検査用X線位置決め装置（クリーンルームISO 5）｜回転軸とリニアステージ｜検査・顕微鏡｜製品紹介｜イビデン株式会社 高精度な直線回転位置決め このX Phiシステムは、センサーやカメラに対して正確に定義された角度でサンプル（例：ウェハー、生物学的サンプル）を位置決めすることができます。クリーンルームに対応するため、中央の測定システムと移動する回転ユニットのケーブルガイドは、リニアシステムの筐体内部に収納されています。クリーンルームに対応するため、中央の測定システムと移動する回転ユニットのケーブルガイドは、リニアシステムの筐体内に収納されています。 クリーンルーム用メンテナンスフリー位置決めシステム - 半導体技術、バイオテクノロジー、製薬業界の検査に最適なシステム - 0.3 µm までの繰り返し精度で高精度な測定が可能 - リニアステージの優れた平面性により、1つのセンサーで高精度の膜厚測定が可能 - ハウジングとベローズにより、パーティクルエミッションをISOクラス5まで低減 - メンテナンスフリー、工業用連続運転、ベースプレート上で簡単なシステム交換が可能 オプションで拡張可能 - クリーンルーム ISO 14644-1に対応したバージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - ベースプレートは花崗岩またはアルミ製 - 薬事承認済みの密閉型特殊モーター - 放射線、真空などの過酷な環境条件に対応するバージョン - お客様固有のアプリケーションに対応する拡張性 - 設定済みコントローラですぐに使用可能（例：ソフトウェア付き