XYZ軸配置システム 782300:150.26.AB

リニア縦型横型

ガントリーは、1,000×800mm（用途やスペースに応じる）の面積を0.3μmの再現性でダイナミックに移動できるため、安定した品質で高いスループットを保証します。水平XY軸では、内蔵のリニアモーターにより500 mm/sの加工速度を確保し、垂直Z軸ではACサーボにより最大200 mm/sの値を達成します。Z軸のカスタマイズされた加工ヘッドやセンサーは、御影石上のキャリアの上を素早くスムーズに移動します。トラバースは最大10kgまでの荷重に対応し、高さはアプリケーションとコンポーネントの高さに応じて最大500mmまで変化させることができます。 多彩な個別カスタマイズオプション - 半導体や光学機器製造の検査装置に最適なベースマシン - 1300 x 800 mmの大面積 - 最大速度1000 mm/sの高いダイナミック性 - 内蔵リニアモーターにより、高加速度・高速度・高精度を同時に実現 - 研削加工された精密ボールねじによる高精度・長寿命なZ軸ドライブ - 自動搬送システムとの統合や接続が容易 - クリーンルーム・クラスISO 6に対応する、抽出部またはハウジングを内蔵したケーシングを追加可能 オプションで拡張可能 - スタッキング可能なシステム設計 - 移動量、長さの組み合わせ、ケーブル配線、モーションコントロールの変更可能 - リフティングステージや回転ステージとの組み合わせにより、複雑な形状の検査が可能 - 半導体工場の半自動化、高自動化に対応したカスタマイズインターフェース。 - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - 設定済みのモーションコントローラと付属のソフトウェアですぐに使用可能