窒化アルミニウムは、不活性雰囲気の中で非常に高い温度で安定しています。また、高い熱伝導性と良好な電気絶縁性を持つ唯一のテクニカルセラミック材料です。
主な特性
高い熱安定性
低熱膨張率
高い熱伝導性
高い熱衝撃性
高い熱伝導性を持つAlNは、高速で均一な熱応答が求められる用途に最適です。優れた放熱性を持つことから、電子機器用途に多く使用されています。
また、高熱伝導率と低熱膨張率の組み合わせにより、急速な加熱・冷却に耐えうる優れた熱衝撃性を持つ材料でもあります。
優れた耐薬品性
AlNは、特にハロゲンガスプラズマに対して高い耐腐食性を持っています。
しかし、水やアルカリ水と反応してアンモニアガスを発生します。
用途
ヒートシンク、ヒートスプレッダー
半導体用ヒーター
高出力の電子機器の基板材料
高温で使用される熱伝達部品
半導体プロセスの化学物質やガスに高温でさらされる部品
プラズマ曝露部品
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