エレクトロニック産業用パッケージング ライン AM051BA

ウェーハ自動

このソリューションは、検査済みウェーハの取り扱い作業を自動化するために設計されており、検査システムからのウェーハの取り出し、ウェーハの搬送、ウェーハスタックの検査、袋詰め、仕分け、箱詰め、パレットへの積み上げなど、さまざまな工程を網羅しています。 この生産段階の完全自動化を先駆けて実現し、商用化しました 全工程の情報を通じて、すべてのウェーハの物理的およびデータ上の完全なトレーサビリティを確保します 「ウェーハ・オートメーション・パック・ライン」は高度に統合された自動化システムであり、その中核となるプロセスは以下の通りです。 積載および搬送：複数のウェーハ検査システムの排出エリアから、選別済みのウェーハが入ったビンを受け取り、合流後にウェーハスタックを搬送します。 外観検査：通常、ビジョンシステムを活用してウェーハスタックの4つの側面と面取り部を撮影し、ウェーハ検査システムでの検査工程で見逃された可能性のある、側面の汚れ、付着物、欠けなどの欠陥の検出に重点を置きます。 袋詰めおよび梱包：各ウェーハスタックの上下にバターペーパーを自動的に敷き、ウェーハスタックを梱包用袋に投入します。その後、検査結果に基づき、ウェーハスタックを梱包用箱に詰め込みます。ライン末端ではパレタイジングを統合することが可能です。適用シナリオ：主にウェハー製造工場のライン末端の包装工程で使用され、上流のウェハー検査システムと連携することで、検査から包装までの完全な自動化ループを形成します。 技術的利点：安定したウェハースタック検査機能により、完全自動化およびインテリジェントな運用に向けた強固な基盤が築かれ、その後の手作業による再検査を省くことができます。