光学式検査機器 AM018TH

自動高品質電気産業用

AM018Tウェーハ検査システムは、高速かつ高精度で包括的なソリューションであり、サイズ、厚さ、汚れ、欠け、抵抗率、微細亀裂、P/N型、穴などに基づいてウェーハを検出・選別することができます。 国内市場におけるウェーハ選別システムのパイオニア 優れた検査性能と信頼性の高い自動化を活かし、本検査システムは高い評価を得て、世界中の顧客から第一の選択肢となっています。 この高速ウェーハ検査システムは、ウェーハ製造におけるスライシングおよび洗浄工程後の最終工程（エンド・オブ・ライン）品質検査用に特別に設計されており、ウェーハ出荷前の最終的な品質チェックとして機能します。 主な機能：ウェハーの包括的な検査と格付けを行い、合格品のみがセル製造工程に送られることを保証することで、より競争力のある価格でより高い品質を実現します。 また、ウェハー検査システムで生成されたデータは、前工程のスライシング工程に送信され、プロセスの最適化や歩留まりの向上に活用することも可能です。 技術的優位性： a) 高効率太陽電池の量産に不可欠な装置であり、大型化（182～230mmのフルカットおよびハーフカット）および薄型化（100～240μm）のウェハーというトレンドに対応しています。 b) AI ベースの検査：従来のアルゴリズムとディープラーニングを組み合わせることで、微細な亀裂（長さ ≥ 0.5mm）、ソーイングマーク（±3µm）、TTV（±2µm）などの複雑な欠陥をより正確かつ安定して識別でき、検出率は 98% を超えます； c) 高い安定性と低い破損率：ベルヌーイ型の非破壊転写技術を活用