チャンバー炉

熱処理電動コンパクト

N型セル向けに設計された本炉は、焼成炉と光誘起パッシベーション炉を一体化させており、設置面積の削減とエネルギー消費の節約を実現しています。 対応ウェハーサイズ 182～230mm コンパクト設計＆省エネ 焼成炉とパッシベーション炉を一体化させた設計により、エネルギーを節約します。 低消費電力 統合設計によりエネルギー消費を削減 精密な温度制御 優れた炉内設計と自社開発の温度制御システムを組み合わせることで、閉ループ温度制御を実現しています。 高効率 光誘起ゾーンには特殊な波長のLEDランプを採用しており、プロセスパラメータの設定と組み合わせることで効率を向上させることができます。 高い互換性 フルカットセルおよびハーフカットセルに対応しています。