強誘電体テスト システム DX-FE2000

実験用高電圧

概要
DEXINMAG DX-FE2000 は、強誘電体、圧電材料および誘電体の特性評価に対応する統合試験プラットフォームです。多数の測定機能と高速測定を1台のホストで提供し、外部高電圧アンプ接続による測定レンジ拡張に対応します。

測定機能：

• DHM – 動的ヒステリシスループ測定
• CVM – CV測定
• LM – リーク電流測定
• FM – 疲労試験
• PM – パルス測定
• PYM – パイロ電気測定
• DTS – 誘電温度測定
• RT – 抵抗測定
• PZM – 圧電特性測定
• CHM – 静的ヒステリシス測定
• IM – ブロット測定
• RM – 保持特性測定
• BDM – ブレイクダウン試験
• TSDC – 熱刺激電流測定
• ECM – 電気カード試験
• POM – 油浴極化

装置構成：
専用の産業用コンピュータホストと、試験回路、演算増幅器、データ処理ユニットを含む測定用電子回路を統合しています。

• ホスト構成：産業用マザーボード、CPU i5以上、RAM 8 GB以上、SSD 250 GB以上、ネットワークカード、USB、DVDドライブ、VGA出力、Windows 7およびDexinmag テストソフトをプリインストール。

校正と拡張：

• 校正モジュール：高精度の抵抗・容量測定モジュールを内蔵し、セルフキャリブレーションで精度向上を実現。
• 装置拡張：高温/低温テーブル、高温試験装置、プローブステーション、高電圧アンプ、高抵抗計、インピーダンスアナライザ、レーザー干渉計用温度コントローラ、デジタルソースメータ等と互換。

拡張部品 / 試験治具：

• ブロック試験治具 — 厚膜、バルク強誘電体およびブレイクダウン試験用。
• 薄膜用四端プローブステーション —（常温〜200°C） 厚膜強誘電、圧電（e31）およびパイロ測定用。
• 薄膜用広温度域加熱/冷却ステージ —（−196°C〜+600°C） 広温度範囲での強誘電・パイロ測定に対応。
• 薄膜プローブステーション — 薄膜・厚膜の常温強誘電測定用。

高電圧アンプの選択肢（バルク材料用）：

• DXAM-10KV: ±10 kV；0–20 mA；最大 5 kHz。
• Trek 609E-6: ±4 kV；0–20 mA；最大 6 kHz。
• Trek 610E: ±10 kV；0–2 mA；最大 600 Hz。

圧電測定 / レーザー干渉計オプション：

• SIOS レーザー干渉計 単一チャネル光学プローブ — 最小分解能 0.3 nm；変位レンジ 100 nm – 2579.50 μm。

インターフェース：

• USB ホストポート: Type A（マウス/キーボード/USBメモリ等）。
• USBTMC インターフェース: Type B（USBTMC/USB488/USB 2.0 TMC 互換、外部PC接続可能）。
• LAN: 10/100/1000 Base-T Ethernet。
• ビデオ出力: 15ピン ミニD-Sub（VGA互換）。

アナライザ保護と注意事項：

• ブレイクダウン保護: 測定回路の耐圧最大 25 kV。外部TREKアンプ使用時は、供給元の指示に従いDexinmag 高電圧保護モジュールを使用してください。

アナライザの環境指標：

• 動作環境: 温度 +5°C〜+40°C；湿度（湿球温度 < +29°C）20%〜80% 非凝縮；高度 0〜2,000 m；振動 ≤ 0.21 Grms（5〜500 Hz）。
• 非動作環境: 温度 −10°C〜+60°C；湿度（湿球温度 < +40°C）20%〜90% 非凝縮；高度 0〜4,572 m；振動 ≤ 2.09 Grms（5〜500 Hz）。

特性 / 技術仕様：

• ブランド: DEXINMAG (Dexinmag).
• モデル: DX-FE2000.
• 内蔵電圧: ±10 V（外部高電圧アンプ接続可能）。
• 外部HV拡張オプション: ±20 V、±100 V、±200 V、±500 V、4 kV、10 kV、20 kV（適切な保護モジュール使用時）。
• ADC分解能: 18 bit。
• 最小電荷分解能: < 10 fC。
• 最小面積分解能: < 1 μm²（仕様値）。
• 報告された最大電荷範囲: 276 μC；27.6 mC（測定範囲に依存）。
• 報告された最大面積範囲: 2.76 cm²；>100 cm²（測定範囲に依存）。
• ヒステリシスループ最大試験周波数: 例として最大 500 kHz。
• 最小試験周波数: 0.03 Hz。
• 最小パルス幅: 0.5 μs。
• 最小パルス立ち上がり時間（5 V）: 400 ns。
• 最大パルス幅: 1 s。
• パルス間最大遅延: 40 ks。
• 内部クロック分解能: 25 ns。
• 最小リーク電流（最大積分 20 s 想定）: < 1 pA。
• 入力容量: 約 60 fF。
• インピーダンス入力: 有り。