インピーダンス分析器 DX6630 series

監視用実験用電圧

原理
インピーダンスアナライザは、周波数掃引中に位相検出で電圧と電流を同時に測定し、デバイスの複素インピーダンスを周波数の関数として測定します。測定される量はインピーダンス振幅、実部・虚部および位相で、等価回路モデルに基づき導電率、インダクタンス、キャパシタンスなどのパラメータが算出されます。

機能

• 広帯域信号源周波数範囲：DC：10 Hz〜1/3/5/10/20/30/50 MHz（機種により異なる）
• 高精度測定：基本精度 ±0.05 %
• ALC機能：信号振幅を安定化する自動レベル制御
• 出力インピーダンス切替：25 Ω / 100 Ω（切替可能）
• 各種測定治具に対応：メーターモード、マルチステップテスト、マッチング治具（液体治具、誘電率治具 等）
• 表示：メーターモードで最大4成分表示；インダクタンス値と直流抵抗（DCR）を同時表示可能
• 補正機能：オープン、ショート、ロード補正
• 超高速測定：最短 < 3 ms
• 分類・ハンドラ機能：自動無条件分類、コンパレータおよびHandlerインターフェースによるBIN分類
• インターフェース：RS-232、GPIB、Handler、LAN、USB Host/Device
• 用途：研究開発、試験室、量産検査に適合
• 操作ソフト：データ収集・解析用のオプションソフトあり

仕様（概要）
測定モード：メーターモード、マルチステップテスト
等価回路：直列、並列
キャリブレーション：オープン、ショート、ロード補正
ライン長補償：0 / 0.5 / 1 / 2 m
マルチステップテスト：50グループ、グループ当たり15テストステップ
BIN分類：最大9レベル
コンパレータ：ABS、Δ ABS、Δ %、OFF
内部記憶：LCRメータ設定ファイル100グループ、マルチステップ設定50グループ
USB Host記憶：LCRおよびマルチステップ設定ファイル、BMP画像
トリガ方式：自動、手動、RS-232、GPIB、Handler
通信：RS-232、GPIB、Handler、LAN、USB Host/Device
電源：90–264 Vac、47–63 Hz；最大消費電力 30 W
表示：7インチ TFT カラー（800 × 480）
使用環境：温度 10–40 °C；湿度 20–90 % RH
寸法（W × H × D）：336 × 147 × 340 mm
質量：3 kg

パラメータ（モデル / 試験周波数）
DX6630-1：10 Hz − 1 MHz
DX6630-3：10 Hz − 3 MHz
DX6630-5：10 Hz − 5 MHz
DX6630-10：10 Hz − 10 MHz
DX6630-20：10 Hz − 20 MHz
DX6630-30：10 Hz − 30 MHz

交流試験信号と測定精度（抜粋）
周波数分解能：6桁
周波数出力精度：7 ppm ± 0.01 %
基本精度：±0.05 %
試験信号電圧範囲：10 mV − 2 V rms
最小電圧分解能：1 mV
ALC OFF 精度：10 % × 設定電圧 ± 2 mV
ALC ON 精度：6 % × 設定電圧 ± 2 mV
試験信号電流範囲：200 μA − 20 mA rms
最小電流分解能：10 μA
ALC OFF 電流精度：10 % × 設定電流 ± 20 μA
直流試験信号：1 V（固定）
出力インピーダンス：25 Ω または 100 Ω（切替）
測定時間（最短）：< 3 ms

測定パラメータと表示範囲
|Z| : 0.000 m - 9999.99 M
R, X : ±0.000 mΩ - 9999.99 MΩ
|Y| : 0.00000 μS - 999.999 kS
G, B : ±0.00000 μS - 999.999 kS
θ (RAD): ±0.00000 - 3.14159
θ (DEG): ±0.000° - 180.000°
Cs, Cp: ±0.00000 pF - 9999.99 F
Ls, Lp: ±0.00 nH - 9999.99 kH
D: 0.00000 - 9999.99
Q: 0.00 - 9999.99
Δ: ±0.00% - 9999.99%
Rdc: 0.00 m - 99.9999 MΩ
εr', εr'': 0 - 100000
μr', μr'': 0 - 100000

用途概要
電子部品、回路および誘電体材料（生体組織、食品、地質試料を含む）の特性評価用インピーダンスアナライザ。研究開発ラボ、部品評価および量産試験に適合します。

技術仕様

• シリーズ：DX6630（モデル：DX6630-1 / -3 / -5 / -10 / -20 / -30）
• 基本インピーダンス測定精度：±0.05 %
• 最小電圧分解能：1 mV；最小電流分解能：10 μA
• 出力インピーダンス：25 Ω / 100 Ω（切替）
• 測定時間（最短）：< 3 ms
• 表示：7インチ TFT カラー（800 × 480）
• インターフェース：RS-232、GPIB、Handler、LAN、USB Host/Device
• 電源：90–264 Vac、47–63 Hz、最大 30 W
• 寸法：336 × 147 × 340 mm；質量：3 kg