冷陰極式真空計

電離熱陰極式

概要
INNOVACERAの高真空イオン化計は、実験室、産業、研究用途の真空度測定に使用されます。専用のイオン化室内でガス分子をイオン化し、発生するイオン／電子電流を測定してガス密度および真空度を算出します。用途や圧力範囲に応じて、ホットカソード、コールドカソード、放射線源タイプが選択可能です。

動作原理
イオン化計はイオン化室と電子／イオン収集器を備えています。室内に入ったガス分子は加熱フィラメント、電子ビーム、その他のイオン化源によりイオン化されます。正イオン（または設計により電子）が電界によって収集され、ガス分子密度に比例した測定電流が発生します。測定電流の増加はガス密度の増加（真空度の低下）、減少はガス密度の減少（真空度の上昇）を示します。

測定範囲

• 極低圧測定時は高電圧かつ大容量のイオン化室を使用する
• 高圧側の測定では低電圧かつ小型のイオン化室を使用する

公称測定範囲: 0.1 ~ 10^-8 Pa

技術仕様

• 製品種別: 高真空イオン化計
• メーカー: INNOVACERA
• 測定原理: イオン化室内でのガス分子のイオン化と荷電粒子の収集に基づく電流測定；電流はガス密度に比例
• 代表的イオン化方式: ホットカソード（加熱フィラメント）、コールドカソード、電子ビーム、放射線源（タイプに依存）
• 推奨運用: 極低圧では高電圧＋大容量室；高圧側では低電圧＋小型室
• 公称測定範囲: 0.1 ~ 10^-8 Pa

用途

• 研究室の真空システムおよび研究施設
• 産業用真空プロセス：薄膜堆積、半導体プロセス、表面処理
• 真空計測および較正ラボ

設置と保守
対応する真空フランジに電気フィードスルーと適切な接地を行って取り付けてください。イオン化室の汚染を避けるため清浄を保ってください。基準器による定期較正を推奨します。フィラメントや放射線源はメーカー指定のタイミングで交換し、放射性タイプの場合は安全手順を厳守してください。