データ用コネクター

電源DC高圧電流

概要
セラミック‑トゥ‑メタルおよびガラスセラミック‑トゥ‑メタルの多ピンフィードスルーは、密閉された電気・計測の配線を高真空および超高真空（UHV）環境へ導入するための製品です。外部プラグとのインライン接続を想定して設計されており、一部品は大気側および真空側の両方でプラグを受け入れる仕様で、設置や保守を簡素化します。

用途

• 半導体プロセス装置
• 分析用試験・計測機器
• 圧力変換器・センサー
• 発電向け計測・制御システム
• 粒子加速器
• 高温炉
• エネルギー研究施設

材料と構造
レセプタクルは高純度で真空適合性のある材料で製造されます。絶縁体には高強度・低損失のアルミナ系セラミック（94%–99% Al2O3）を使用し、耐火金属の焼結法でメタライズ処理しています。構造部・接続部材はKovar®、ステンレス鋼、ニッケル‑鉄合金、銅ニッケル合金、モリブデン、Alumel®等を用意しています。組立は銅、金‑銅、銀‑銅合金でのブレージングにより密閉性を確保しています。

セラミック‑金属 シーリング材料

• 94%–99% Al2O3 — Kovar — 銅ブレーズ
• 94%–99% Al2O3 — ステンレス鋼 — 金‑銅ブレーズ
• 94%–99% Al2O3 — ニッケル‑鉄合金 — 銀‑銅ブレーズ
• 94%–99% Al2O3 — 銅‑ニッケル合金 — （ブレーズオプション）
• 94%–99% Al2O3 — モリブデン — （直接シールオプション）

利点

• 高真空・UHV用途に適した密閉性
• 高電圧対応 >12 kV DC
• ピン当たり最大40 Aの高電流対応
• 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s Heまでのリーク試験実績
• 使用温度範囲 −250°C〜+450°C
• 適用範囲でのRoHS準拠
• 用途に応じたカスタム設計が可能

技術仕様

• 製品種別：セラミック‑トゥ‑メタルおよびガラスセラミック‑トゥ‑メタル 多ピンフィードスルー（2導体以上）
• セラミック絶縁体：94%–99% Al2O3（アルミナ）
• 使用金属：Kovar®、ステンレス鋼、ニッケル‑鉄合金、銅‑ニッケル合金、モリブデン、Alumel®
• ブレーズ材料：銅、金‑銅、銀‑銅合金
• 電気特性：電圧 >12 kV DC；電流 ピン当たり最大40 A
• 真空性能：密閉；リーク試験 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s He；HVおよびUHV用途に適合
• 温度範囲：−250°C〜+450°C
• 準拠：適用範囲でRoHS準拠
• カスタマイズ：特定用途要件に応じて対応可能