Innovaceraの四重極質量フィルター、略して四重極は、四重極質量分析計の中核部品です。通常、4本の平行な円筒形または双曲線形の金属棒で構成されています。2組の電極が適用されます:直流電圧(DC、U)と高周波電圧(RF、V·cos(ωt))。四重極質量分析器は、振動する電場内のイオン軌道の安定性に基づいてイオンを分離します。
構造パラメータ表:
- 材料オプション: 金メッキセラミック/ステンレス鋼/モリブデン
- 棒の直径: 2-16mm
- 棒の長さ: 100-300mm
- ベース: アルミナセラミック/加工可能なガラスセラミック
- 総合精度: ≤3μm
99%アルミナセラミック材料の特性:
- 色: アイボリー
- 主な特徴: 優れたプラズマ耐食性、高い耐摩耗性。
- 応用分野: 半導体機器部品、耐摩耗性および耐腐食性部品。
- 密度: 3.88 g/cm3
- 吸水率: 0%
- ビッカース硬度: 17 HV
- 曲げ強度: 350 MPa
- 圧縮強度: 2450 MPa
- ヤング率: 350 GPa
- ポアソン比: 0.22
- 破壊靭性: 4-5 MPa·m1/2
- 線膨張係数 (40-400°C): 8.2 x10-6/°C
- 熱伝導率 (20°C): 25-30 W/(m·k)
- 比熱: 0.8 J/(kg·k)x103
- 体積抵抗率 (20°C): >1015 Ω·cm
- 絶縁破壊強度: 20 KV/mm
- 誘電率: 9.2
- 誘電損失係数: 2 x10-4
- 硝酸 (HNO3) (90°C) の重量減少: 1015 Ω·cm、絶縁破壊強度20 KV/mm、誘電率9.2、誘電損失係数2 x10-4、最大使用温度1500°C