半導体用フィードスルー端子

真空マルチパス完全密閉閉口

概要 Innovaceraの高信頼性8ピンセラミック真空フィードスルー。UHVシステム向けに設計され、CF35（CF2.75）フランジに対応します。電圧定格、ピン配列、フランジ規格が同等の標準的なセラミック-金属シールのフィードスルーの代替となり、カスタマイズや短納期に対応します。

特長

• 標準的なセラミック-金属シールフィードスルーの仕様と同等
• 10 kVの高電圧および30 Aの電流に対応
• UHV向けの信頼性の高い気密シール
• CF35インターフェースとの交換が容易な標準CF2.75フランジ
• 導体材質（モリブデンまたは銅）およびピン配列のカスタマイズ可能
• CAD図面およびエンジニアリングサポートを提供

用途

• 半導体装置
• 真空チャンバー
• 高電圧試験システム
• イオンビーム・プラズマシステム
• 超高真空（UHV）システム

技術仕様

• ピン数：8
• 電圧定格：10 kV
• 電流定格：30 A
• 導体径：0.094 インチ（2.3876 mm）
• 導体材質：銅またはモリブデン（またはカスタム）
• 絶縁体：95%アルミナセラミック
• フランジ：CF2.75（CF35）
• 使用温度範囲：-269 ～ 450 °C
• 最大圧力：1500 psig
• 外形寸法：OD 69.5 × 169 mm