冷陰極式真空計

電離

製品概要
INNOVACERAは、INFICON MPG400 / MPG401用の冷陰極真空計の修理・リファービッシュ向けに設計された高精度のアノードアセンブリを提供します。本アセンブリは高純度アルミナセラミック絶縁、精密メタライゼーション、真空ろう接を採用し、高電圧絶縁、真空適合性、安定した電気特性を確保します。

技術的特徴

• 高電圧下の真空環境向けに設計
• 安定した電離を実現する電極の精密整列
• 2–4 kV DCの動作に対応する高電圧絶縁
• 低アウトガスの真空適合材料
• メタライゼーションおよび真空ろう接による気密なセラミック-金属接合
• 長期にわたる安定した電気特性
• 場の対称性を維持するための高精度同芯度制御

アノードアセンブリが重要な理由
アノードアセンブリは冷陰極真空計における電界と放電挙動を制御する重要部品です。2–4 kV DCで動作する際に電離領域を形成し、精密な整列と安定した絶縁が測定精度、安定性、計器の信頼性に直接影響します。

用途

• 真空計の修理
• 真空計のリファービッシュ
• 科学用機器
• 真空計測システム

技術仕様

• 対応モデル: INFICON MPG400 / MPG401
• 耐電圧: 2–4 kV DC
• リーク率: <1 × 10⁻⁹ mbar·L/s
• 接合方式: セラミックのメタライゼーション + 真空ろう接
• 動作環境: 高真空、電子/イオン衝撃条件
• 同芯精度: ≤0.5 mm

材料と構造

• 材料: 高純度アルミナセラミック絶縁
• 接合: 気密なセラミック-金属接合を実現する精密メタライゼーションと真空ろう接
• 性能: 安定した電気特性、長寿命、精密な同芯度制御