Angstrom Sciencesのロータリーマグネトロン

... 設計されて います。 オングス トローム・サイエンスの特許取得済みプロファイル・ マグネット技術は、ソースと基板間の蒸着プロファイルをより正常なものにします。改善された蒸着プロファイルは、チャンバー壁へのデブリ蓄積を低減します。 さらに、アングス トローム・サイエンシズの マグネットアレイは、より高い磁場強度を提供するため、ユーザーはスパッ タリングプロセスを低電力で実行し、一般的な蒸着速度を達成することができます。 本来、シリンドリカル マグ ネト ロンは、同じ空間面積を持つプレーナー マグ ネト ロンの最大3倍の ...

... オングス トロームサイエンスでは、世界で最も先進的で信頼性の高 いマ グネ トロンスパッ タリングカソードを設計、エンジニアリング、製造して います。また、業界最長の2年間保証で、製品の品質を保証して います。 また、 マグ ネト ロンの寿命を通じて最高品質の性能を保証することをお約束します。ONYX®や他の マグ ネト ロンアセンブリの緊急時やメンテナンスの必要性に対して、包括的な修理とリビルドサービスを提供しているのはそのためです。 -ソースの分解 -機械的および電気的損傷チェック -適合および公差検査 -Oリング ...

... ロータリー マグ ネト ロンは、 マグネットセットが中心軸を中心に機械的に 回転する 円形 マグ ネト ロンの変形である。この実施形態は、もともと半導体用途に開発されたもので、可能な限り小さなカソード直径で固定基板を均一にコーティングすることができます。この技術の他の用途としては、ターゲット面に再蒸着された材料が成長膜に欠陥を発生させる場合があります。 ロータリー マグ ネト ロンでは、ターゲット面全体が20～600RPMの間で 回転する マグネットセットによって一掃されます。 オングス トローム・サイエンス社は、直径4″(100mm ...

... アングス トローム・サイエンシズは、 マグ ネト ロンスパッ タリングアプリケーションにもたらす最先端技術で国際的に知られて います。この度、既存のMRC型 マグ ネト ロンに当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレ トロフィットする方法を開発し、お客様のプロセスにAngstrom ...

... オングス トロームサイエンスは、事実上あらゆる標準的なスパッ タリングプロセスに対応する最先端の マグ ネト ロンを提供して います。しかし、アプリケーションはそれぞれ異なることを知って います。そのため、お客様の仕様に特別に適応する独自のモジュラーアプ ローチを開発しました。 その他の機能 オングス トロームサイエンスは マグ ネト ロンの設計、エンジニアリング、製造、テストを社内で行って います。そのため、お客様のカスタムプロジェクトに対して最高の品質と管理を保証することができます。 オングス トローム・サイエンスは ...

... 高出力RF マグ ネト ロンスパッ タリングカソードは、特定の設計基準が建設に組み込まれていれば、研究開発および生産アプリケーションで成功裏に実施することができます。 円形ハイパワーRF マグ ネト ロンは直接冷却され、外径2″～8″で入手可能です。 RFパワーは高周波で動作するため、 マグ ネト ロンスパッ タリングカソードがそのパワーを抑制するように設計されていることが重要です。オングス トロームサイエンスのハイパワーRF マグ ネト ロンは、低反射電力とRF閉じ込めを提供しながら、RFエネルギーをターゲット表面全体に ...