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ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミ クスを実現 - パラレル・キネマティ クスによる高速応答と高い多 軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシ ステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニ クス/集積光学系 - ...
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ストローク: 22 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 0.2 µm
... 10nmの高いセンサー分解能 - セルフロック式で静止時の発熱がない - 低ノイズ 精密級リニア位置決め ステ ージ PILine® ステ ージは、高速精密位置決めを必要とするアプリケ ーションに特に適しています。スイッチを切ると、セルフロックドライブが ステ ージの位置を機械的に安定させます。そのため、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。バッテリー駆動や熱に敏感な低デューティサイクルのアプリケ ーションでは、このような特性のメリットがあります。軸の位置はエンコーダで測定され、光学式リファレンススイッチにより ...
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ストローク: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 100, 200 nm
... 追従できず、その位置に留まります。動作周波数は最大20 kHzで、駆動部が直接ランナーに作用し、最大速度8 mm/sを達成します。8mm/sを達成する。 直接測定原理 リニア ステ ージには非接触測定光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。分解能1nm。 応用分野 マイクロアセンブリフォトニ クス光アライメント顕微鏡検査ビームライン装置半導体技術試験 ...
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ストローク: 25 mm
速度: 0.02 m/s
繰返し精度: 0.15, 0.2, 1 µm
... - 分解能0.1 µmの高精度リニアエンコーダ内蔵 - 最小イ ンクリメンタルモー ション0.2 µm - 循環式ボールねじによる高速性と長寿命 イ ンクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 光学アライメント精密オートメ ーション ...
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ストローク: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
繰返し精度: 5 µm
... 精密ボールねじ、最大負荷容量50 kg ステッピ ングモーターまたはサーボモーター 折りたたみ式ドライブトレインによるコンパクト設計 垂直取り付け用保持ブレーキ付きモデル 要求の厳しい産業用アプリケ ーションで使用できる強力なリニア ステ ージ 高精度ボールねじ、高性能 ステッピ ングモータまたは同期サーボモータ、ヘビーデューティ再循環ボールベアリ ング、高精度ロータリーエンコーダにより、高負荷下でも信頼性の高い連続運転が可能です。オプ ションの保持ブレーキにより、Z 軸として使用できます。ボールねじは分解することなく ...
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... スイッチ 標準クラス回転 ステ ージ ウォームドライブ開口部20 mm Ø. 基準スイッチ. 特に真空環境での使用に適したアウトガスの低減 ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料を使用しています。これにより、80℃までのベークアウトが可能です。 高真空環境での用途に適した高品質 この場合、モーター、測定シ ステム、リミットスイッチなど、高真空に適した特別な部品が使用されます。さらに、表面はコーティ ングされていないアルミニウム製で、スピンドルとガイドは ステンレス製です。これにより ...
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