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ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミ クスを実現 - パラレル・キネマティ クスによる高速応答と高い多 軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシ ステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニ クス/集積光学系 - ...
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... - 4mradまでの光ビーム偏向 - プラットフォームとミラー間のCTEを調整するための様々な異なる素材 - より高い精度とダイナミ クスのためのパラレルキネマティ クス - サブミリ秒の応答時間 - クローズドループバー ジョンによる直線性の向上 - 優れた温度安定性 応用分野 - 画像処理/安定化 - 光トラッピ ング - レーザースキャ ニング/ビーム ステアリ ング（偏向角大 - ...
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... モー ションプラットフォーム直径 低背 偏心と平面度 < 100 nm 磁気予圧による静止時の自己ロックオプ ション 製品概要 PIglide RLシリーズの直接駆動式薄型回転 ステ ージは、薄型設計で最高の精度を実現します。様々なオプ ションを組み合わせることにより、ポイントツーポイントインデキシ ングや等速スキャ ニングに理想的なソリュー ションを作り出すことができます。RL ステ ージは、優れた移動精度、平面度、ふらつき性能を提供します。 3相トルクモーター ブラシレス スロットレス 低コギ ングトルク ...
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... 200°/s DC、BLDC、 ステッピ ングモーター 方向感知リファレンススイッチ 真空対応のバリエ ーションあり リファレンスクラス回転 ステ ージ ウォームギアによる高精度位置決め。プリロードピボットベアリ ングによる高い振れ精度35 mm Øのクリアアパーチャ。 回転方向は無制限。非接触リファレンススイッチL-511リニア ステ ージとL-310 ...
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... します。 アクセサリーとオプ ション イ ンクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ PIglideフィルターおよびエア供給キット 単 軸または多 軸モー ションコントローラおよびサーボドライブ 多 軸/カスタマイズセットアップ 花崗岩製のベースプレートと振動低減シ ステム ...
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繰返し精度: 1 µm
積載量: 4 kg
... します。 XYZシ ステムをセットアップするために、A-143にはブレーキとカウンターバランスを含む垂直取り付けオプ ションが用意されています。 アクセサリーとオプ ション PIglideフィルターおよびエアプレパレー ションキット 単 軸および多 軸モー ションコントローラー 垂直取り付け用ブレーキと空気圧カウンターバランス付きモデル 応用分野 この ステ ージは、計測、検査、ファイバー位置決め、光学位置決め、スキャ ニング、パターン形成など、多くの高精度かつ高ダイナミックなアプリケ ーションに最適です。潤滑不要 ...
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ストローク: 400, 50, 200, 300, 100 mm
速度: 1, 0.5 m/s
繰返し精度: 0.1 µm
... - スキャ ニングアプリケ ーションや高精度位置決めに最適 - クリーンルーム対応 - モー ションプラットフォームのサイズ 160 mm × 200 mm - 耐荷重100 N PIglide位置決めシ ステムは、磁気リニアモーター、磁気予圧空気軸受、光学式リニアエンコーダを備えています：非接触で摩擦のない動きにより、最高の精度と信頼性を実現 アクセサリーとオプ ション - ...
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ストローク: 50 mm - 350 mm
速度: 1 m/s
繰返し精度: 0.25 µm
... リニアモータは、 ステ ージを数ミリ秒以内に最高速度まで駆動できます。プリロードエアベアリ ング構造により、あらゆる方向への取り付けが可能です。 アクセサリーとオプ ション エンコーダ PIglideフィルターおよびエア供給キット 多 軸モー ションコントローラとダイレクトドライブ XYセットアップと個別設定 ケーブルトラックのバリエ ーション 垂直アセンブリ用のカウンターバランスオプ ション 花崗岩製のベースプレートと振動低減シ ステム 応用分野 PIglide位置決めシ ステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ ...
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ストローク: 5, 2.5 mm
速度: 200 mm/s
繰返し精度: 0.25 mm
... 搭載のエアベアリ ングZチップ/チルト ステ ージです。パラレルキネマティック多軸シ ステムとして設計され、このプラットフォームはZおよびチップ/チルトモー ションに使用できます。この ステ ージは、超高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモー ションプラットフォームが実現しました。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文いただくと、PIがサーボチュー ニングの最適化を適用したZ ステ ージの設定と配線を ...
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