Physik Instrumenteの空気軸受ポジショニングステージ

... モー ションプラットフォーム直径 低背 偏心と平面度 < 100 nm 磁気予圧による静止時の自己ロックオプ ション 製品概要 PIglide RLシリーズの直接駆動式薄型回転 ステ ージは、薄型設計で最高の精度を実現します。様々なオプ ションを組み合わせることにより、ポイントツーポイントインデキシ ングや等速スキャ ニングに理想的なソリュー ションを作り出すことができます。RL ステ ージは、優れた移動精度、平面度、ふらつき性能を提供します。 3相トルクモーター ブラシレス スロットレス 低コギ ングトルク ...

... します。 アクセサリーとオプ ション イ ンクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ PIglideフィルターおよび エア供給キット 単軸または多軸モー ションコントローラおよびサーボドライブ 多軸/カスタマイズセットアップ 花崗岩製のベースプレートと振動低減シ ステム 応用分野 トモグラフィ、ビームラインシ ステム、ウェハ計測、ウェハ検査、計測技術、検査シ ステム、キャリブレー ション、スキャ ニング 摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、PIglide ステ ージはクリーンルーム用途に理想的 ...

繰返し精度: 1 µm
積載量: 4 kg

... します。 XYZシ ステムをセットアップするために、A-143にはブレーキとカウンターバランスを含む垂直取り付けオプ ションが用意されています。 アクセサリーとオプ ション PIglideフィルターおよび エアプレパレー ションキット 単軸および多軸モー ションコントローラー 垂直取り付け用ブレーキと 空気圧カウンターバランス付きモデル 応用分野 この ステ ージは、計測、検査、ファイバー位置決め、光学位置決め、スキャ ニング、パターン形成など、多くの高精度かつ高ダイナミックなアプリケ ーションに最適です。潤滑不要 ...

ストローク: 400, 50, 200, 300, 100 mm
速度: 1, 0.5 m/s
繰返し精度: 0.1 µm

... - スキャ ニングアプリケ ーションや高精度位置決めに最適 - クリーンルーム対応 - モー ションプラットフォームのサイズ 160 mm × 200 mm - 耐荷重100 N PIglide位置決めシ ステムは、磁気リニアモーター、磁気予圧 空気 軸受、光学式リニアエンコーダを備えています：非接触で摩擦のない動きにより、最高の精度と信頼性を実現 アクセサリーとオプ ション - ...

ストローク: 50 mm - 350 mm
速度: 1 m/s
繰返し精度: 0.25 µm

... リニアモータは、 ステ ージを数ミリ秒以内に最高速度まで駆動できます。プリロード エア ベアリング構造により、あらゆる方向への取り付けが可能です。 アクセサリーとオプ ション エンコーダ PIglideフィルターおよび エア供給キット 多軸モー ションコントローラとダイレクトドライブ XYセットアップと個別設定 ケーブルトラックのバリエ ーション 垂直アセンブリ用のカウンターバランスオプ ション 花崗岩製のベースプレートと振動低減シ ステム 応用分野 PIglide位置決めシ ステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ ...

ストローク: 5, 2.5 mm
速度: 200 mm/s
繰返し精度: 0.25 mm

... ダイレクトドライブ搭載の エア ベアリングZチップ/チルト ステ ージです。パラレルキネマティック多軸シ ステムとして設計され、このプラットフォームはZおよびチップ/チルトモー ションに使用できます。この ステ ージは、超高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモー ションプラットフォームが実現しました。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文いただくと、PIがサーボチュー ニングの最適化を適用したZ ステ ージの設定と配線 ...