空気軸受ポジショニングステージ

... モーションプラットフォーム直径 低背 偏心と平面度 < 100 nm 磁気予圧による静止時の自己ロックオプション 製品概要 PIglide RLシリーズの直接駆動式薄型回転ステージは、薄型設計で最高の精度を実現します。様々なオプションを組み合わせることにより、ポイントツーポイントインデキシングや等速スキャニングに理想的なソリューションを作り出すことができます。RLステージは、優れた移動精度、平面度、ふらつき性能を提供します。 3相トルクモーター ブラシレス スロットレス 低コギングトルク ...

速度: 200 mm/s

... A-523は、ダイレクトドライブを搭載したエアベアリングタイプのZチップ/チルトステージです。パラレル・キネマティック多軸システムとして設計されたこのプラットフォームは、Zおよびチップ/チルトの動作に使用することができます。このステージは、超高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触部品の組み合わせにより、摩擦のないモーションプラットフォームとして、最高の性能、品質、寿命を提供します。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文いただくと、PIがサーボチューニングの最適化と負荷がかかった状態でのZステージの設定とケーブル配線を実施します。すぐに使える位置決めシステムを完成させることができます。 アクセサリーとオプション エアフィルターセット 真空クランプ機構内蔵 ...

ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... E-LMT-XY (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm 一方向の繰り返し精度 0.3 µm アイアンレス 3 相リニアモータ 速度 500 mm/s インクリメンタル 分解能 4.88 nm のリニアエンコーダ クロスローラガイド リニアモーター リニアモーターは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレインに機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしでモーションプラットフォームに伝達します。リニアモータは高速、高加速度に対応します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決め作業に特に適しています。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能で、同時に高速度での振動もありません。制御動作における非線形性は回避され、どのような位置でも簡単に制御することができます。 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置計測 非接触の光学式エンコーダは、最も高い精度でプラットフォームで直接位置を測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。ご要望に応じ、さらに広い移動範囲を提供します。 ...

ストローク: 450, 800, 250 mm
速度: 1 m/s
繰返し精度: 75 nm

... XYステージEZ-0117の設計において特に重視されたのは、高精度の要求とコスト重視の設計です。エアベアリングトレッドはベローズで覆われており、パーティクルの侵入を防ぎます。ベローズを装備しているにもかかわらず、高い位置決め精度を実現しています。鉄芯同期モーターにより、加速度は最大10 m/s2、移動速度は最大1 m/s。機械ベッドは花崗岩製。クロステーブルの側面には、エネルギー、信号、媒体を伝送するためのインターフェースプレートが装備されています。両軸とも、電気および空圧エネルギーを個別に供給できる。終端位置は誘導センサーにより検出されます。XYステージには2つのサイズがあり、移動範囲は250 ...

速度: 9 m/s
繰返し精度: 5 µm

... MPL エアベアリング付きリニアモータステージ このエアベアリング付きリニアモータステージの情報 このリニア軸の能力 測定システムの繰り返し精度：± 1 μm 最大加速度：80 m/s2 ...

ストローク: 500, 1,000, 1,500, 2,000 mm
速度: 1,210, 790, 2,060, 1,630 mm/s

... LA340リニアステージは幅340mmで、花崗岩のプレートをベースに、エアベアリングを使用して構築されました。これにより、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、滑らかな走行特性が求められるあらゆるアプリケーションに使用することができます。 - スキャニング用途や高精度な位置決めに最適 - 最大±0.3 µmまでの非常に高い繰返し精度 - 最大速度2060 mm/sでの高い動的特性 - 最大500 Nの負荷容量 - 最大 ± 0.8 µm の完璧な平面度 - 長寿命 - クリーンルーム仕様も可能 高い動的性能と完璧な平面性 この直線軸の駆動コンセプトは、ダイナミックリニアモーターとリニア測定システムに基づいており、高い速度と加速度を高精度と優れた繰返し精度で実現します。 応用分野 計測、検査、レーザー加工、フォトニクス、精密スキャン、半導体・フラットパネルディスプレイ製造における精密位置決め ...

... 高精度な測定を実現するために設計されています。ロータリーユニットは減摩ベアリングを採用し、遊びがありません。抜群の剛性を誇ります。高精度な位置決めを可能にする高分解能エンコーダ。 RT-350 ピエゾドライブ搭載。使用される材料の磁界強度が低いため、CT測定システムの回転軸として最適です。 オプション >空気圧による回転の固定 >スプラッシュガード RT-500 トルクドライブ付き。RT-500は、その優れた構造により、多軸システムの回転軸として使用することができます。 オプション >空圧式回転クランプ >スプラッシュガード >ウォームギアドライブとサーボドライブ RT-1500 サーボドライブ付き。軸方向にエアベアリングを採用しています。ベースプレートと回転テーブルは天然の硬質石、御影石を使用。自動調整機能により、様々な重量負荷でもエアギャップは一定に保たれます。 オプション >空気圧による回転の締め付け >スプラッシュガード >角度エンコーダ >手動調整 ...