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速度: 9 m/s
繰返し精度: 5 µm
... MPL エアベアリング付きリニアモータステージ このエアベアリング付きリニアモータステージの情報 このリニア軸の能力 測定システムの繰り返し精度：± 1 μm 最大加速度：80 m/s2 ...
速度: 100 mm/s
... RotoLinear Z(Lift) - θ(θ)ポジショニングモジュールは、ピックアンドプレースアプリケーションにおいて、従来の電気機械式アクチュエータに代わる高性能な2軸エアベアリングシステムです。最新のブラシレスサーボモータ、エンコーダ、エアベアリング技術を組み合わせ、非常にコンパクトなパッケージで、正確でプログラム可能な位置と速度制御を実現します。このZ-θステージは、2軸平面とエアベアリング技術を採用しています。ドライブ、ベアリング、フィードバックは完全に非接触です。ロトリニアステージには、ステージ上面に補助真空ラインと電気ラインを通すためのホールスルーがあります。プラナーXYフォーサーに取り付けて、ロボットX-Y-Z-θセルとして動作させることができます。 ...
... プラテンと呼ばれる特殊な「ワッフル状」の表面上を、摩擦のないエアベアリング上を滑動するフォーサーと呼ばれる移動体で構成されています。 プレーナーフォーサーは、互いに90度に配向した2つまたは4つのリニアモータリングモジュールを含んでいます。 モータリングモジュールが変化する電流に反応すると、フォーサーはプラテンを横切って移動し、連続的な直線運動を生み出します。また、移動および回転モードでフォーサーを制御して、XY およびシータ (対角線) 運動を実行することもできます。 大きな回転能力を得るために、プレーナーフォーサーはRTHロータリーテーブルやZリフトモーターと統合することができます。 プレーナーフォーサーは、標準的なマイクロステッピングドライブとインデクサーと互換性があります。また、IntelLiCoderフィードバックを装備し、クローズドループで駆動することもできます。 平面XYテーブルは、任意の向き（側壁、上下逆さま）で操作できます。 ...
ストローク: 500, 1,000, 1,500, 2,000 mm
速度: 1,210, 790, 2,060, 1,630 mm/s
... LA340リニアステージは幅340mmで、花崗岩のプレートをベースに、エアベアリングを使用して構築されました。これにより、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、滑らかな走行特性が求められるあらゆるアプリケーションに使用することができます。 - スキャニング用途や高精度な位置決めに最適 - 最大±0.3 µmまでの非常に高い繰返し精度 - 最大速度2060 mm/sでの高い動的特性 - 最大500 Nの負荷容量 - 最大 ± 0.8 µm の完璧な平面度 - 長寿命 - ...
ストローク: 385 mm
速度: 330 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
... 大口径スキャニングステージ 繰り返し精度を追求した大型精密XYステージです。研磨クロスローラーガイドを採用し、真直度・平面度ともに±0.15μmの繰り返し精度を実現しています。 大きな透過光により、大型の基板も両面から、または透視しながら測定できます。また、測定用途でセンサーの精度をフルに活用するための差分測定のオプションも用意されています。ステージをフルに動かしても、常に60mm×60mm以上の開口部が確保されます。 高加速度による高速スキャンアプリケーション ...
ストローク: 350 mm
速度: 200 m/s
繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
... フラット、正確、高速 KT500 は、その非常にフラットでコンパクトなデザインだけが特徴ではありません。350mmの移動量により、大きな基板や部品も全面に渡ってスキャンすることができます。また、すべてのプロセスパラメータを正確に再現できるように設計されており、エアベアリングシステムに匹敵する性能を実現しています。プラグ接続で取り外し可能なケーブルインターフェースにより、簡単な取り付けと50万回のフルストロークまでのメンテナンスフリー運転が可能です。 長寿命でダイナミックなXYシステム - ...
... - モーションプラットフォーム直径200mmまたは300mm - ロープロファイル、60 mm - 偏心および平面度 < 100 nm - 磁気予圧による静止状態でのセルフロック機能（オプション PIglide RLシリーズの直接駆動低背回転ステージは、低背設計で最高の精度を実現します。さまざまなオプションを組み合わせて、ポイントツーポイントインデックスや等速スキャンに最適なソリューションを構築できます。RLステージは優れた移動精度、平面度、ふらつき性能を備えています。 3相トルクモーター - ...
Physik Instrumente
ストローク: 50, 100, 25, 150 mm
速度: 300 mm/s
繰返し精度: 50, 100 nm
... ABL1000シリーズステージは、入手可能な中で最も高性能な小型エアベアリングステージです。超精密な位置決め精度と幾何学的性能が重要な、スペースに制約のあるアプリケーションに最適です。また、コンパクトなフォームファクターは、他のモーション軸やシステムとの統合を容易にします。 -高性能アライメントとアセンブリのために設計されています。 -完全プリロードエアベアリング -低ノイズリニアアンプ -完全非接触設計 リニアポジショナは、完全に予圧された非接触設計です。本質的に摩擦のないエアベアリングは、精密アプリケーションの標準であることが証明されています。非接触リニアブラシレスサーボモータによって駆動されるこのステージは、アプリケーションに必要なものが小さな正確なステップであれ、一定の滑らかな速度であれ、究極のソリューションであることが証明されています。優れた磁場とモーターコイル設計により、ミニチュアエアベアリングステージとしては最高の力を出力します。このステージは優れたサーボ性能を提供し、堅牢で乱れのないケーブル管理システムを特徴としています。 フィードバックと制御システム 様々な高性能リニアアンプやPWMアンプとともに、最新鋭のコントローラを幅広く取り揃えています。 オプション 便利なラックマウントアンプまたはパネルマウントアンプがすべてのシステムで提供されます。Aerotechの専門技術スタッフはカスタムシステム設計の経験が豊富で、お客様と協力してお客様の用途の固有のニーズを満たすシステムを作成します。 ...
Aerotech/エアロテック
速度: 200 mm/s
... A-523は、ダイレクトドライブを搭載したエアベアリングタイプのZチップ/チルトステージです。パラレル・キネマティック多軸システムとして設計されたこのプラットフォームは、Zおよびチップ/チルトの動作に使用することができます。このステージは、超高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触部品の組み合わせにより、摩擦のないモーションプラットフォームとして、最高の性能、品質、寿命を提供します。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文いただくと、PIがサーボチューニングの最適化と負荷がかかった状態でのZステージの設定とケーブル配線を実施します。すぐに使える位置決めシステムを完成させることができます。 アクセサリーとオプション エアフィルターセット 真空クランプ機構内蔵 ...
ストローク: 5 mm
速度: 10 mm/s
積載量: 10 kg
... エアベアリング式ZC軸EZ-0745は、XYステージ（EZ-0715など）への組み込みを想定しています。高度に統合された設計により、必要な全高は約138mmと低く抑えられています。回転角度は±3°に制限されています。1.5μradの高い繰り返し精度により、非常に精密な基板アライメントが可能です。Z軸は、2つのエアベアリングパッドにより回転に対して固定され、2つの対向するボイスコイルにより動的に駆動される。エアベアリングニューマチックシリンダーは、ウェイトデカップリングのために組み込まれています。Zストロークは、お客様独自の調整が可能です。 ...
... 高精度な測定を実現するために設計されています。ロータリーユニットは減摩ベアリングを採用し、遊びがありません。抜群の剛性を誇ります。高精度な位置決めを可能にする高分解能エンコーダ。 RT-350 ピエゾドライブ搭載。使用される材料の磁界強度が低いため、CT測定システムの回転軸として最適です。 オプション >空気圧による回転の固定 >スプラッシュガード RT-500 トルクドライブ付き。RT-500は、その優れた構造により、多軸システムの回転軸として使用することができます。 オプション >空圧式回転クランプ >スプラッシュガード >ウォームギアドライブとサーボドライブ RT-1500 サーボドライブ付き。軸方向にエアベアリングを採用しています。ベースプレートと回転テーブルは天然の硬質石、御影石を使用。自動調整機能により、様々な重量負荷でもエアギャップは一定に保たれます。 オプション >空気圧による回転の締め付け >スプラッシュガード >角度エンコーダ >手動調整 ...
Johann Fischer Aschaffenburg
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