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ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミ クスを実現 - パラレル・キネマティ クスによる高速応答と高い多軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシ ステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニ クス/集積光学系 - リソグラフィー - ...
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ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm
... 比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメ ージ ング - スクリー ニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシ ステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータ ...
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ストローク: 100, 200 µm
... み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサーボとリニアライゼー ションのパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。デジタルコントローラのオートキャリブレー ション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこの データを使用します。 生産的なオペレ ーションを迅速に開始するための豊富なソフトウェア MATLAB、NI LabVIEW、およびすべての一般的なオペレーティ ングシ ステム（Windows、Linux、macOS）のサポートにより、事実上すべての環境で ...
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... - 4mradまでの光ビーム偏向 - プラットフォームとミラー間のCTEを調整するための様々な異なる素材 - より高い精度とダイナミ クスのためのパラレルキネマティ クス - サブミリ秒の応答時間 - クローズドループバー ジョンによる直線性の向上 - 優れた温度安定性 応用分野 - 画像処理/安定化 - 光トラッピ ング - レーザースキャ ニング/ビーム ステアリ ング（偏向角大 - ...
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ストローク: 22 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 0.2 µm
... 10nmの高いセンサー分解能 - セルフロック式で静止時の発熱がない - 低ノイズ 精密級リニア位置決め ステ ージ PILine® ステ ージは、高速精密位置決めを必要とするアプリケ ーションに特に適しています。スイッチを切ると、セルフロックドライブが ステ ージの位置を機械的に安定させます。そのため、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。バッテリー駆動や熱に敏感な低デューティサイクルのアプリケ ーションでは、このような特性のメリットがあります。軸の位置はエンコーダで測定され、光学式リファレンススイッチにより ...
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ストローク: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 100, 200 nm
... 追従できず、その位置に留まります。動作周波数は最大20 kHzで、駆動部が直接ランナーに作用し、最大速度8 mm/sを達成します。8mm/sを達成する。 直接測定原理 リニア ステ ージには非接触測定光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。分解能1nm。 応用分野 マイクロアセンブリフォトニ クス光アライメント顕微鏡検査ビームライン装置半導体技術試験 ...
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ストローク: 25 mm
速度: 0.02 m/s
繰返し精度: 0.15, 0.2, 1 µm
... - 分解能0.1 µmの高精度リニアエンコーダ内蔵 - 最小イ ンクリメンタルモー ション0.2 µm - 循環式ボールねじによる高速性と長寿命 イ ンクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 光学アライメント精密オートメ ーション ...
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ストローク: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
繰返し精度: 5 µm
... リサーキュレーティ ングボールガイドは、高負荷容量と高動力設計です。モータの高分解能により、トラッキ ング性能の向上、トラッキ ングエラーの低減、セトリ ングタイムの短縮を実現しています。 同期サーボモーター 位置決め精度が高く、広い回転速度範囲で高い過負荷耐量を発揮します。高トルクと低慣性は、ドライブの高いダイナミ クスを保証します。これらのモータの長寿命、高性能、および堅牢性により、産業オートメ ーション・アプリケ ーションで優れた結果を得ることができます。 ステッピ ングモーター 強力で低振動の2相 ステッピングモーター ...
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ストローク: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
繰返し精度: 0.25, 2 µm
... リミットスイッチ XYセットアップを直接取り付け可能 コンパクトなリニア ステ ージ、多目的に使用可能 ベルトドライブによる折りたたみ式でコンパクトなリニア ステ ージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。 特に真空環境での使用において、アウトガスを低減。 ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料を使用しています。これにより、ベークアウト温度は80°Cまで可能です。PI ...
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ストローク: 32 mm
... - 幅わずか32mm、高さ8mm - 分解能0.75 µradのイ ンクリメンタルエンコーダによる直接位置測定 - 最小3 µradまでのイ ンクリメンタルモー ション - 360°以上の回転範囲 - 速度45°/秒 製品概要 ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。イナーシャドライブの原理は、特殊なドライバ電子機器から供給される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエーター ...
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