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ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm
... - モーター駆動に比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメージング - スクリーニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯域幅を保証します。 ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。 ...
ストローク: 26 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... SLC-1740の寸法は40 x 17 x 8.5mmで、移動範囲は26mm、法線力は30Nである。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1740の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお気軽にお問い合わせください。 メカニカル ブロッキング力 [N] - ≥ 3.5 最大法線力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 31 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... SLC-1750の移動範囲は31mm、法線力は30Nで、寸法は50 x 17 x 8.5mmです。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1750の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお問い合わせください。 メカニカル スキャン範囲 [μm] - > 1.3 ブロッキングフォース ...
SmarAct GmbH
ストローク: 46 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... SLC-1770は、SLC-17シリーズで2番目に大きな位置決めステージです。移動範囲は46mmで、サイズは70 x 17 x 8.5mmとコンパクトです。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気またはHV環境用のSLC-1770の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお気軽にお問い合わせください。 メカニカル ブロッキング力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 31 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 200, 40 nm
... CLS-32シリーズの中型ステージは、わずか32 x 52 mmのフットプリントを維持しながら、31 mmの移動範囲を提供します。最大30Nの可搬重量を扱うことができます。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高可用性アプリケーションのために一貫して設計されています。交換可能なスマーアクトドライブユニットを装備しており、ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへの容易なアクセスを保証します。これにより、メンテナンスが非常に簡単になります。ドライブユニットは、周囲の位置決めセットアップから装置全体を取り外すことなく交換できます。さらに、その取り付け穴パターンは、当社の回転ステージやゴニオメータの取り付けに完全に適合しています。 メカニカル ブロック力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 51 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... CLS-32シリーズの最長のステージは、わずか32 x 82 mmのフットプリントを維持しながら、51 mmの移動範囲を提供します。最大30 Nのペイロードに対応します。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高可用性アプリケーションのために一貫して設計されています。交換可能なスマーアクトドライブユニットを装備しており、ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへの容易なアクセスを保証します。これにより、メンテナンスが非常に簡単になります。ドライブユニットは、周囲の位置決めセットアップから装置全体を取り外すことなく交換できます。さらに、その取り付け穴パターンは、当社の回転ステージやゴニオメータの取り付けに完全に適合しています。 メカニカル ブロック力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 31 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 200, 40 nm
... CLS-52リニアステージの中で最も小型のものは、設置面積52 x 52 mm、移動範囲31 mm、開口部直径9 mmです。さらに、最大20Nの可搬重量を扱うことができます。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高可用性アプリケーションのために一貫して設計されています。交換可能なスマーアクト・ドライブユニットを装備しており、ステージの中核部品であるピエゾドライブへの容易なアクセスを保証します。これにより、メンテナンスが非常に簡単になります。ドライブユニットは、周囲の位置決めセットアップから装置全体を取り外すことなく交換できます。さらに、その取り付け穴パターンは、当社の回転ステージやゴニオメータの取り付けに完全に適合しています。 メカニカル ブロック力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 51 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... 大型のCLS-52リニアステージは、設置面積52 x 82 mm、移動範囲51 mm、開口部直径9 mmです。さらに、最大20 Nの可搬重量を扱うことができます。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高可用性アプリケーションのために一貫して設計されています。交換可能なスマーアクトドライブユニットを装備しており、ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへの容易なアクセスを保証します。これにより、メンテナンスが非常に簡単になります。ドライブユニットは、周囲の位置決めセットアップから装置全体を取り外すことなく交換できます。さらに、その取り付け穴パターンは、当社の回転ステージやゴニオメータの取り付けに完全に適合しています。 メカニカル ブロック力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 103 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 200, 40 nm
... より大型のCLS-92リニアステージは、設置面積152 x 92 mm、移動範囲103 mmです。さらに、最大20 Nの可搬重量を扱うことができます。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高可用性アプリケーション向けに特別に設計されています。交換可能なスマーアクトドライブユニットを装備しており、ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへの容易なアクセスを保証します。ドライブユニットは、周囲の位置決めセットアップから装置全体を取り外すことなく交換できます。モジュール性と容易なコンフィギュレーションが最重要要件である場合に最適なオプションです。 メカニカル ブロック力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 4.5 mm
速度: 10 mm/s
... この超小型ポジショナーは、長さ11mmで4.5mmの移動範囲が特徴です。 メカニカル ブロック力 [N]≥ 1.6 最大法線力 [N]1 最大リフト力 [N]0.35 寸法 [mm]11 x 11 x 5.2 開ループ 開ループ分解能 MCS2 [nm] - < 1 開ループ分解能 (H)CU [nm] - < 50 オプション 材質オプション - スチールベース（-ST）が標準 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) ...
SmarAct GmbH
ストローク: 11 mm
速度: 10 mm/s
... SLシリーズのリニアステージは超小型で、スペースに制約のあるセットアップや極端な小型化の要求のために特別に設計されています。小型サイズを維持しながら、ステージは比較的長い移動範囲を提供し、複雑な多軸システムを構築するために組み合わせることができます。SLシリーズのステージは、幅11mm、高さ5.2mmです。 メカニカル ブロック力 [N]≥ 1.6 最大法線力 [N]1 最大リフト力 [N]0.35 寸法 [mm]21 x 11 x 5.2 開ループ 開ループ分解能 MCS2 [nm]- ...
SmarAct GmbH
ストローク: 12.5 mm
積載量: 150, 20 lb
... HL.500-XYシリーズステージは、クロスローラーベアリングを備えた精密XYステージで、重荷重下でも優れた安定性、直線性、最小のスティクションを実現するよう設計されています。このステージは標準よりも20％多くのベアリングを組み込んでおり、移動範囲全体での双方向の直線性が向上し、移動限界での性能が顕著です。手動アクチュエータ、差動マイクロメータ、オープンループおよびクローズドループドライブを含むさまざまな手動およびモーター駆動のアクチュエータをサポートします。各軸には、3gの衝撃下でもステージの位置を確保する個別の非影響ロックが備わっています。HL.500-XYは、MX-ABおよびMX-AB2垂直マウントブロックと互換性があり、100crまたは200crステージと組み合わせて高負荷XYZステージシステムを作成できます。
製品の特徴
- 低プロファイル設計
- 統合されたXY軸
- 非影響ロック
- 高負荷クロスローラーベアリング
- 真空対応バージョンあり
性能仕様
- 移動範囲：0.5インチ（12.5mm）
- 最大水平軸荷重：150ポンド、中心
- 最大垂直軸荷重：20ポンド、中心
- 最小制御可能な動き（調整ネジは別売）：
- 40TPI：10
ストローク: 1 mm - 185 mm
速度: 1 mm/s - 8.4 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm
... LA95 - 用途：搬送ステージ、スキャニングステージ - 利点：ドライ潤滑にもかかわらず高寿命 - 特徴: ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは ボールスクリュー - 真空: 10E-9 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲 - 磁性: 磁気 - 潤滑： 液体潤滑（10E-8まで）/乾式潤滑（10E-11mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C 技術データ - トラベル：40mm、80mm、185mm - 繰り返し精度 ± 1.9μm、±0.4μm（一方向） ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm
... KDT300 安定した高負荷xyステージ 用途：搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点： - 潤滑油の乾燥にもかかわらず高寿命 特徴： 潤滑油の乾燥にもかかわらず長寿命 - 真空度：HV / UHV / EUVの全範囲、10E-11まで - 10E-11までの潤滑液 - 開口部: 80 x 80 mm - 最大ベークアウト温度:120 オプション - 測定システム付き/なし - オプションでコントローラーFMC400/450付き - 最大 80 mm の移動量、最大 10 kg ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 2.2 mm/s
繰返し精度: 1 µm - 5 µm
... HT160 精密高荷重垂直リフティングステージ 用途：真空リフティングステージ 利点：高剛性・高荷重 特徴：ボールねじスピンドル付きウェッジ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 最大10E-8 / 最大10E-11 mbarのドライ潤滑液 - マグネット仕様も可能 - 最大ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - クリーンルームISO 14644-1用バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm - 5 µm
... HDT255 高荷重開口リフティングテーブル 用途：真空リフティングステージ 利点：-高剛性、高荷重、開口部 特徴：開口部付きウェッジステージ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 潤滑液：10E-8/ドライ 10E-11 mbarまで - 磁性: 磁気 - 最大ベークアウト温度120°C オプション - 開口部の有無 - さまざまな移動 - 測定システム付き/なしオプション - クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能） - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 3.4 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm
... HT240 精密高荷重垂直昇降ステージ アプリケーション真空リフティングステージ 利点：高剛性・高荷重 特徴：ボールねじスピンドル付きウェッジ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10-11 mbar - 潤滑：液体10-8/ドライ10-11mbarまで - 磁性: 磁気 - 最大ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - コントローラーFMC400/450オプション 技術データ - トラベル: ...
Steinmeyer Holding GmbH
積載量: 1 kg - 12 kg
... DT310 大口径フラット回転ステージ フラットデザインで優れた加工精度を誇る高精度回転ステージは、幅広いアプリケーションを可能にします。開口部が大きいため、検査や医療産業での作業に特に適しています。 - 大口径のアプリケーションに最適 - 無制限の移動範囲 - 最大120 Nの負荷容量 - 0.004 µradまでの高い繰り返し精度 - オプションでステッピングモーターまたはACサーボ、モーターエンコーダ、各種測定システムも利用可能 測定システム分解能 応用分野 マイクロ計測、医療産業、サンプル検査、精密マイクロアセンブリ、フォトニクスと光学、研究開発、実験物理学などの汎用アプリケーション 技術データ - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 8.3 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 5 µm
... HT240 高荷重に最適 シュタインマイヤー・メカトロニックのHT240は、垂直方向の移動用に特別に設計された高荷重用の製品で、卓越した分解能を備えています。堅牢で生産実績のある設計により、粒子や埃から保護され、特に高荷重用途の産業環境で使用できます。 組み合わせが簡単 HT240はステッピングモーターまたはACモーターを搭載し、最大25 mmのリフトを提供します。 当社のモジュラー軸システムのおかげで、複雑な多軸システムを作成するために、適合するDTシリーズ回転ステージまたはPLTシリーズリニアステージと簡単に組み合わせることができます。 産業用アプリケーションに最適 HT240 ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 5 µm
... HT160 高精度リフティングステージ リフティングステージHT160は、高精度の垂直移動に適しています。ギヤードモータと精密ボールねじの組み合わせにより、高荷重で非常に小さな調整増分が可能です。 PMTシリーズ、PLTシリーズと組み合わせ可能 ステッピングモータまたはDCモータとクロスローラベアリングを装備したHT160は、PMT160およびPLTシリーズに適合するように開発されており、困難な多軸システムに対する多様な組み合わせの可能性を保証します。 用途の多様性 このリフティングステージは、主に計測工学、センサーの位置決め、光学分野、微細加工で使用されます。また、研究開発用の真空バージョンもご用意しています。 技術データ - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 80 mm
速度: 1 mm/s - 60 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm - 5 µm
... MT130 モーター内蔵コンパクトリニアステージ ミニチュアリニアステージは、ローラーベアリングにより優れた真直度と平面度を提供します。駆動部は非常にコンパクトな位置決めシステムに完全に収納されています。 - 小さな設置スペース（130 x 130 x 43 mm）で最大80 mmの移動が可能。 - 最大2.3 µmの繰り返し精度 - コンパクトな多軸システムに簡単にスタック可能 オプション - DCモーターまたはステッピングモーターを使用可能 - 3軸コンパクトユニットMP130-3 - ...
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