開ループポジショニングステージ

ストローク: 1 mm - 185 mm
速度: 1 mm/s - 8.4 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... LA95 - 用途：搬送ステージ、スキャニングステージ - 利点：ドライ潤滑にもかかわらず高寿命 - 特徴: ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは ボールスクリュー - 真空: 10E-9 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲 - 磁性: 磁気 - 潤滑： 液体潤滑（10E-8まで）/乾式潤滑（10E-11mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C 技術データ - トラベル：40mm、80mm、185mm - ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... KDT300 安定した高負荷xyステージ 用途：搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点： - 潤滑油の乾燥にもかかわらず高寿命 特徴： 潤滑油の乾燥にもかかわらず長寿命 - 真空度：HV / UHV / EUVの全範囲、10E-11まで - 10E-11までの潤滑液 - 開口部: 80 x 80 mm - 最大ベークアウト温度:120 オプション - 測定システム付き/なし - オプションでコントローラーFMC400/450付き - 最大 80 ...

ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 2.2 mm/s
繰返し精度: 1 µm - 5 µm

... HT160 精密高荷重垂直リフティングステージ 用途：真空リフティングステージ 利点：高剛性・高荷重 特徴：ボールねじスピンドル付きウェッジ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 最大10E-8 / 最大10E-11 mbarのドライ潤滑液 - マグネット仕様も可能 - 最大ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - クリーンルームISO ...

ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm - 5 µm

... HDT255 高荷重開口リフティングテーブル 用途：真空リフティングステージ 利点：-高剛性、高荷重、開口部 特徴：開口部付きウェッジステージ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 潤滑液：10E-8/ドライ 10E-11 mbarまで - 磁性: 磁気 - 最大ベークアウト温度120°C オプション - 開口部の有無 - さまざまな移動 - 測定システム付き/なしオプション - クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能） - ...

ストローク: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 3.4 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... HT240 精密高荷重垂直昇降ステージ アプリケーション真空リフティングステージ 利点：高剛性・高荷重 特徴：ボールねじスピンドル付きウェッジ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10-11 mbar - 潤滑：液体10-8/ドライ10-11mbarまで - 磁性: 磁気 - 最大ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - コントローラーFMC400/450オプション 技術データ - ...

積載量: 1 kg - 12 kg

... DT310 大口径フラット回転ステージ フラットデザインで優れた加工精度を誇る高精度回転ステージは、幅広いアプリケーションを可能にします。開口部が大きいため、検査や医療産業での作業に特に適しています。 - 大口径のアプリケーションに最適 - 無制限の移動範囲 - 最大120 Nの負荷容量 - 0.004 µradまでの高い繰り返し精度 - オプションでステッピングモーターまたはACサーボ、モーターエンコーダ、各種測定システムも利用可能 測定システム分解能 応用分野 マイクロ計測、医療産業、サンプル検査、精密マイクロアセンブリ、フォトニクスと光学、研究開発、実験物理学などの汎用アプリケーション 技術データ - ...

ストローク: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 8.3 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 5 µm

... HT240 高荷重に最適 シュタインマイヤー・メカトロニックのHT240は、垂直方向の移動用に特別に設計された高荷重用の製品で、卓越した分解能を備えています。堅牢で生産実績のある設計により、粒子や埃から保護され、特に高荷重用途の産業環境で使用できます。 組み合わせが簡単 HT240はステッピングモーターまたはACモーターを搭載し、最大25 mmのリフトを提供します。 当社のモジュラー軸システムのおかげで、複雑な多軸システムを作成するために、適合するDTシリーズ回転ステージまたはPLTシリーズリニアステージと簡単に組み合わせることができます。 産業用アプリケーションに最適 HT240 ...

ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 5 µm

... HT160 高精度リフティングステージ リフティングステージHT160は、高精度の垂直移動に適しています。ギヤードモータと精密ボールねじの組み合わせにより、高荷重で非常に小さな調整増分が可能です。 PMTシリーズ、PLTシリーズと組み合わせ可能 ステッピングモータまたはDCモータとクロスローラベアリングを装備したHT160は、PMT160およびPLTシリーズに適合するように開発されており、困難な多軸システムに対する多様な組み合わせの可能性を保証します。 用途の多様性 このリフティングステージは、主に計測工学、センサーの位置決め、光学分野、微細加工で使用されます。また、研究開発用の真空バージョンもご用意しています。 技術データ - ...

ストローク: 1 mm - 80 mm
速度: 1 mm/s - 60 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm - 5 µm

... MT130 モーター内蔵コンパクトリニアステージ ミニチュアリニアステージは、ローラーベアリングにより優れた真直度と平面度を提供します。駆動部は非常にコンパクトな位置決めシステムに完全に収納されています。 - 小さな設置スペース（130 x 130 x 43 mm）で最大80 mmの移動が可能。 - 最大2.3 µmの繰り返し精度 - コンパクトな多軸システムに簡単にスタック可能 オプション - DCモーターまたはステッピングモーターを使用可能 - 3軸コンパクトユニットMP130-3 - ...

ストローク: 31 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... SLC-1750の移動範囲は31mm、法線力は30Nで、寸法は50 x 17 x 8.5mmです。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1750の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、弊社営業チームまでお問い合わせください。 メカニカル スキャン範囲 [μm] ...

ストローク: 46 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... SLC-1770は、SLC-17シリーズの中で2番目に大きな位置決めステージです。SLC-1770は、SLC-17シリーズの中で2番目に大きなステージで、46mmの移動範囲と70×17×8.5mmのコンパクトなサイズを実現しています。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-ポジションセンサを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-1770の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 31 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... CLS-32シリーズのミドルサイズステージは、32×52mmのフットプリントを維持しながら、31mmの移動範囲を実現。最大30Nの可搬質量に対応しています。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高稼働率のアプリケーションのために一貫して設計されています。ステージの中核部品であるピエゾドライブへのアクセスを容易にするSmarActs交換可能ドライブユニットを搭載しています。これにより、サービスが非常に簡単になります。ドライブユニットの交換は、デバイス全体を周囲のポジショニングセットアップから取り外すことなく行うことができます。さらに、その取り付け穴パターンは、当社の回転ステージやゴニオメーターの取り付けに完全に適合しています。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 51 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... CLS-32シリーズの中で最も長いステージは、わずか32×82mmのフットプリントを維持しながら、51mmの移動範囲を実現しています。最大30Nの可搬重量に対応しています。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高稼働率のアプリケーションのために一貫して設計されています。ステージの中核部品であるピエゾドライブへのアクセスを容易にするSmarActs交換可能ドライブユニットを搭載しています。これにより、サービスが非常に簡単になります。ドライブユニットの交換は、デバイス全体を周囲のポジショニングセットアップから取り外すことなく行うことができます。さらに、その取り付け穴パターンは、当社の回転ステージやゴニオメーターの取り付けに完全に適合しています。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 31 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 200, 40 nm

... CLS-52リニアステージの最小モデルは、フットプリント52×52mm、移動範囲31mm、アパーチャ直径9mm。さらに、最大20Nのペイロードに対応しています。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高稼働率のアプリケーションのために一貫して設計されています。ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへのアクセスを容易にするSmarActs交換可能ドライブユニットを搭載しています。これにより、サービスが非常に簡単になります。ドライブユニットの交換は、デバイス全体を周囲のポジショニングセットアップから取り外すことなく行うことができます。さらに、その取り付け穴パターンは、当社の回転ステージやゴニオメーターの取り付けに完全に適合しています。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 51 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... CLS-52は、フットプリント52×82mm、移動量51mm、アパーチャ直径9mmの大型リニアステージです。さらに、最大20Nのペイロードに対応しています。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高稼働率のアプリケーションのために一貫して設計されています。ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへのアクセスを容易にするSmarActs交換可能ドライブユニットを搭載しています。これにより、サービスが非常に簡単になります。ドライブユニットの交換は、デバイス全体を周囲のポジショニングセットアップから取り外すことなく行うことができます。さらに、その取り付け穴パターンは、当社の回転ステージやゴニオメーターの取り付けに完全に適合しています。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 103 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 200, 40 nm

... 大型のリニアステージCLS-92は、フットプリントが92×152mm、移動範囲が103mm。さらに、最大20Nの可搬重量に対応しています。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高稼働率のアプリケーションのために特別に設計されています。ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへのアクセスを容易にするSmarActs交換可能ドライブユニットを搭載しており、サービスを簡単に行うことができます。ドライブユニットを交換する際には、周囲のポジショニングセットアップからデバイス全体を取り外す必要はありません。モジュラー性と簡単な構成が最優先される場合に最適なオプションです。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 4.5 mm
速度: 10 mm/s

... SLシリーズのリニアステージは、スペースに制約がある場合や極端な小型化が求められる場合に対応するために設計された超小型のステージです。小型でありながら、比較的長い移動範囲を持ち、組み合わせて複雑な多軸システムを構築することができます。SLシリーズのステージは、幅11mm、高さ5.2mmです。 メカニカル ブロッキングフォース [N]≧ 1.6 最大法線方向の力 [N]1 最大リフト力 [N]0.35 寸法 [mm]11 x 11 x 5.2 オープンループ 分解能 [nm]<1 ...

... SR-1908は、当社最小の標準回転ステージです。非常に頑丈なステンレススチール製ベアリングと7mmの開口部により、幅広いアプリケーションに対応します。 SR-1908は、最もコンパクトでコスト効率の高い回転ステージです。外形寸法が小さいため、スペースに制約のあるセットアップに最適です。 メカニカル トラベル [- ∞] - 0.5 ブロッキングトルク [Ncm] - ≥ 0.5 最大法線力 [N] - 5 寸法 [mm] - 25 x 20 x 8.5 重量 ...

... SR-2013は当社最軽量のクローズドループ回転ステージです。内蔵のセラミック精密ベアリングが、超高精度と極めて低いラジアル振れの理由です。 超高真空対応や完全非磁性バージョンなど、様々なオプションもご用意しています。 メカニカル トラベル [∞] ≥ 0.5 ブロッキングトルク [Ncm]≥ 0.5 最大法線力 [N]3 外形寸法 [mm]22.5 x 20 x 10.2 重量 [g]11 開口 [mm]--. オープンループ 角速度 [°/s]> 45 開ループ分解能 ...