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ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミクスを実現 - パラレル・キネマティクスによる高速応答と高い多軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニクス/集積光学系 - リソグラフィー - ナノポジショニング - 走査型顕微鏡 - サンプルアライメント - マイクロマシニング 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHzの帯域幅を保証します。 自動構成と高速部品交換 メカニックとコントローラを必要に応じて組み合わせ、迅速に交換することができます。すべてのサーボおよびリニアライゼーションパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラのオートキャリブレーション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこのデータを使用します。 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 特許取得済みのPICMA®圧電アクチュエーターは、オールセラミック絶縁されています。このため、湿度やリーク電流の増加による故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁型アクチュエータに比べて最大10倍の長寿命を実現します。1,000億サイクルで一度も故障がないことが証明されています。 ...
ストローク: 50 mm - 2,000 mm
速度: 300 mm/s
繰返し精度: 0.02 mm
... 多軸位置決めシステム 電動レールガイド 重負荷リニアガントリーロボット ボールねじXYZステージ お客様はモノのインターネット業界の技術会社です。この製品は主に食品包装に使用される。 顧客は安定した動作と速い速度を持つモジュールを必要としており、食品を素早く包装することができます。顧客の要求に対して、弊社の技術チームは以下の構造を構築した。 顧客は、食品包装は高速である必要があることを指摘し、それは製品の走行速度が300mm / sに達することができることを保証する必要があります、 Y軸の走行速度は200m ...
ストローク: 100 mm - 1,050 mm
速度: 250, 500, 1,000 mm/s
... 半密閉型カスタムガントリーモジュール位置決めシステム 高精度・軽量・高剛性半密閉型スクリューリニアモジュール 適用範囲 お客様は電子製品検査装置メーカーで、製品は主に産業用カメラを搭載した電子製品検査に使用されています。 お客様からは、ドライバ、コントローラ、電源などの電気的付属品はすべて底面のベースに固定し、サイズはあまり大きくならないことが要求されています。今回のFTH12は、繰り返し位置決め精度±0.02mm、最高速度1000mm/s、最大水平荷重50KG、最大垂直荷重15KGを実現しています。精密アルミベース、軽量で高剛性。高精度、正確な位置決め、低騒音、耐食性などの長所を持ち、精度、走行速度、使用環境などに一定の要求があるほとんどの試験装置、計測器産業に適している。 ...
... SR-1908は、当社最小の標準回転ステージです。非常に頑丈なステンレススチール製ベアリングと8mmの開口部により、幅広いアプリケーションに対応します。 SR-1908は、最もコンパクトな回転ステージです。外形寸法が小さいため、スペースに制約のあるセットアップに最適です。 仕様 ブロッキングトルク [Ncm] - ≥ 0.5 最大法線力 [N] - 5 寸法 [mm] - 25 x 20 x 8.5 重量 [g] - 13 開口 [mm] - 8 オープンループ 角速度 [°/s] - > ...
... SR-4513回転ステージは、正方形のベースと直径8mmの自由開口部を備えています。 高さは設置面積に比べて比較的低くなっています。このため、平面位置決めシステムへの組み込みが容易です。堅牢なステンレス製ベアリングを採用し、高真空バージョンもあります。 メカニカル トラベル [- ∞] - ≥ 5 ブロッキングトルク [Ncm] - ≥ 5 最大法線力 [N] - 20 寸法 [mm] - 45 x 45 x 12.5 重量 [g] - 89 開口 [mm] - 8 オープンループ 角速度 ...
... 24時間365日稼働の電磁回転ステージ。 MR-92シリーズのSMARSHIFT回転ステージは、リニアSMARSHIFTステージMLS-92122およびMLL-82シリーズのリニアステージと互換性があり、直接取り付けられるように設計されています。MR-92回転ステージは最大50Nの荷重に対応し、高速スキャン動作など高い動的性能が要求される用途に適しています。 ...
Zaber Technologies - Vancouver, BC
速度: 180 mm/s - 270 mm/s
繰返し精度: 0.001 µm - 1 µm
積載量: 3 kg
... アパーチャー付き高分解能回転ステージ HV/UHV、DUV、クリーンルームISO 6、n x 360°、rep 0.0005°、荷重3 kg、速度270°/秒 - クリーンルーム： ISO 6クラスまでのバリエーション（ご要望によりそれ以上のクラスにも対応可能） - 真空：HV/UHVの全レンジ、最大10～11 mbar - 潤滑液：最大10-8 mbar / 特殊構成ドライ：最大10-11 mbar - ベークアウト温度ベークアウト温度100°C オプションで設定可能 - 磁性体バージョンと低磁性体バージョンがあります。 ...
... XRT-Aは、スティックスリップピエゾモータによって駆動されます。 XRT-Aの特許取得済みのベアリング技術により、回転中でもラジアル誤差の動きをナノメートルレベルまで積極的に補償することができます。 これにより、XRT-Aはユニークで、市場で最も正確なピエゾ回転ステージになります。 500nm 未満の半径方向誤差動作により、XRT-Aは加圧された空気と大容量を必要とせず、有利な価格で空気軸受の精度を実現します。 その結果、XRT-Aは、圧度回転が必要な真空および磁気アプリケーションに最適なソリューションです。 ...