オートフォーカスポジショニングステージ

ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm

... - モーター駆動に比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメージング - スクリーニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯域幅を保証します。 ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。 ...

ストローク: 100, 200 µm

... - 5msまでのステップ＆セトル - 全高が20mmと低く、組み込みが容易 - 開口部 93 mm × 65 mm - E-709デジタルピエゾサーボコントローラを同梱 - USB、RS-232、アナログインターフェース 製品概要 応用分野 超解像顕微鏡 ライトディスク顕微鏡 共焦点顕微鏡 3Dイメージング スクリーニング 干渉計 測定技術 オートフォーカスシステム バイオテクノロジー 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 ゼロプレイフレクシャーガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。 自動構成と迅速な部品交換 メカニックとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサーボとリニアライゼーションのパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。デジタルコントローラのオートキャリブレーション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこのデータを使用します。 生産的なオペレーションを迅速に開始するための豊富なソフトウェア MATLAB、NI ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
繰返し精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
積載量: 8, 10 kg

... iniSCANシリーズ MiniSCANシリーズは弊社が最近発売した高精度デスクトップ型スキャンシステムです。機械全体は安定性に優れた大理石ベースを採用し、高精度のXY軸とZ軸モーションステージを搭載し、光路設置と照明を予約しています。機構は非常に迅速に顧客の要求を満たす様々なアプリケーションに組み合わせることができます。現在、半導体ウエハースキャニング、生物検出、干渉計測定などの高精度アプリケーションで大きな成功を収めています。MiniSCANシリーズの主な特徴 標準的なデスクトップレベルの防振システム ...

ストローク: 50 mm
速度: 2.5 mm/s

... フラットXYステージ、移動量60 mm、アパーチャ90 mm、繰り返し精度1.1 µm、荷重6 kg プレート構造、開口部付き対称型XYステージ KDT180は、非常にフラットなデザインと90 x 90 mmの大きなアパーチャを持つ、汎用性の高いステージです。この開口部により、ステージの残留誤差を除いた差分測定や透過光測定が可能になります。このステージは、特に計測や光学の用途に適しています。 コンパクトでフラットな大口径ステージ - 顕微鏡、検査、測定システムに最適です。 - 1.1 µm までの高精度な繰り返し精度 - ...

ストローク: 50 mm
速度: 30 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 2.5 µm

... 大口径スキャニングステージ 省スペース設計と大口径が特長の堅牢なXYステージです。高精度ボールネジとオトゴナリティの調整により、高精度な位置決めと走行精度を実現しました。また、コストパフォーマンスに優れ、長寿命です。 顕微鏡作業用に設計 - 顕微鏡、光学検査装置、レーザー加工に最適です。 - 0.5 µm までの高精度な繰り返し精度 - 優れた価格性能比と非常に長いライフサイクル - オプションで 100 mm の移動量 (KDT310) が利用可能 適用分野 顕微鏡、光学検査システム、3Dイメージング、スクリーニング、干渉計、計測、オートフォーカスシステム、バイオテクノロジー、半導体検査などの高分解能アプリケーション ...