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ストローク: 50 mm
速度: 2.5 mm/s
... フラットXYステージ、移動量60 mm、アパーチャ90 mm、繰り返し精度1.1 µm、荷重6 kg プレート構造、開口部付き対称型XYステージ KDT180は、非常にフラットなデザインと90 x 90 mmの大きなアパーチャを持つ、汎用性の高いステージです。この開口部により、ステージの残留誤差を除いた差分測定や透過光測定が可能になります。このステージは、特に計測や光学の用途に適しています。 コンパクトでフラットな大口径ステージ - 顕微鏡、検査、測定システムに最適です。 - ...
ストローク: 50 mm
速度: 30 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 2.5 µm
... 大口径スキャニングステージ 省スペース設計と大口径が特長の堅牢なXYステージです。高精度ボールネジとオトゴナリティの調整により、高精度な位置決めと走行精度を実現しました。また、コストパフォーマンスに優れ、長寿命です。 顕微鏡作業用に設計 - 顕微鏡、光学検査装置、レーザー加工に最適です。 - 0.5 µm までの高精度な繰り返し精度 - 優れた価格性能比と非常に長いライフサイクル - オプションで 100 mm の移動量 (KDT310) が利用可能 適用分野 顕微鏡、光学検査システム、3Dイメージング、スクリーニング、干渉計、計測、オートフォーカスシステム、バイオテクノロジー、半導体検査などの高分解能アプリケーション ...
ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 10, 50 nm
... - 移動範囲100 µm、400 µm、または800 µm - モーター駆動に比べ、応答速度が格段に速く、寿命が長い - nm以下の分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Metamorph®イメージングソフトウェアとの互換性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー - 3Dイメージング - スクリーニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯域幅を保証します。 ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。 ...
Physik Instrumente
ストローク: 200, 100 µm
... - 5msまでのステップ・アンド・セトル - 全高20mmと低く、組み込みが容易 - 93 mm × 65 mm のクリアアパーチャ - デジタルピエゾサーボコントローラE-709を納入範囲に含む - USB、RS-232、アナログインターフェース - 画像処理ソフトウェアMetaMorphに対応 - 3Dイメージング - スクリーニング - 干渉計 - 計測技術 - バイオテクノロジー - 半導体検査 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性が高いため、高い負荷容量を持ち、衝撃や振動の影響を受けません。また、100％真空対応で、幅広い温度範囲で使用できます。 生産性の高い動作を実現する豊富なソフトウェア MATLABとNI ...
Physik Instrumente
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