Physik Instrumenteの圧電ポジショニングステージ

ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm

... 大口径でハイダイナミ クスを実現 - パラレル・キネマティ クスによる高速応答と高い多軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシ ステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニ クス/集積光学系 - リソグラフィー - ...

ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm

... 比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメ ージ ング - スクリー ニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシ ステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータ ...

ストローク: 100, 200 µm

... み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサーボとリニアライゼー ションのパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。デジタルコントローラのオートキャリブレー ション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこの データを使用します。 生産的なオペレ ーションを迅速に開始するための豊富なソフトウェア MATLAB、NI LabVIEW、およびすべての一般的なオペレーティ ングシ ステム（Windows、Linux、macOS）のサポートにより、事実上すべての環境で ...

... - 4mradまでの光ビーム偏向 - プラットフォームとミラー間のCTEを調整するための様々な異なる素材 - より高い精度とダイナミ クスのためのパラレルキネマティ クス - サブミリ秒の応答時間 - クローズドループバー ジョンによる直線性の向上 - 優れた温度安定性 応用分野 - 画像処理/安定化 - 光トラッピ ング - レーザースキャ ニング/ビーム ステアリ ング（偏向角大 - ...

ストローク: 22 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 0.2 µm

... 10nmの高いセンサー分解能 - セルフロック式で静止時の発熱がない - 低ノイズ 精密級リニア位置決め ステ ージ PILine® ステ ージは、高速精密位置決めを必要とするアプリケ ーションに特に適しています。スイッチを切ると、セルフロックドライブが ステ ージの位置を機械的に安定させます。そのため、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。バッテリー駆動や熱に敏感な低デューティサイクルのアプリケ ーションでは、このような特性のメリットがあります。軸の位置はエンコーダで測定され、光学式リファレンススイッチにより ...

ストローク: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 100, 200 nm

... - 幅わずか45mm - 駆動力 7 N - ナノメートルの位置分解能を持つイ ンクリメンタルセンサー - アダプタープレートなしのXYコンビネ ーションが可能 圧電慣性駆動 圧電慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃な価格の 圧電ベースのドライブです。イナーシャドライブの原理は、特殊なドライバ電子機器から供給される修正されたノコギリ波電圧で制御される単一の 圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエーターはゆっくりと膨張し、ランナーを動かします。その慣性 ...

ストローク: 32 mm

... わずか32mm、高さ8mm - 分解能0.75 µradのイ ンクリメンタルエンコーダによる直接位置測定 - 最小3 µradまでのイ ンクリメンタルモー ション - 360°以上の回転範囲 - 速度45°/秒 製品概要 ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。イナーシャドライブの原理は、特殊なドライバ電子機器から供給される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の 圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエーターはゆっくりと ...