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流量: 0.005 l/min - 500 l/min
圧力: 0.2 bar - 8 bar
呼び径: 1 mm - 20 mm
... 概要
MFCシリーズは、非腐食性ガス向けの
質量
流量コントローラで、複数の
流量レンジと産業用途に対応します。標準インターフェースはアナログおよびRS485 Modbusで、シリーズによりDeviceNet、ProfiNet、EtherNet、EtherCat、IO-Linkなどのバスオプションを選択可能です。
MFC2000
- 汎用ガス質量流量コントローラ
- フルスケール流量範囲:
SIARGO
... MFC4000シリーズは、高純度フロープロセスが要求されるアプリケーション向けに設計されています。センシングチップはSEMIグレードの防錆フィルムでコンフォーマルにコーティングされています。その他のパッケージ材料も、業界最高水準に厳しく選定されています。 ...
SIARGO
流量: 0 l/min - 200 l/min
圧力: 0.1 MPa - 0.8 MPa
... MFC2000 シリーズは、クリーンでドライなガスを使用する汎用マスフローコントロールアプリケーション用に設計されています。当社のThermal-Dセンシングチップを使用し、拡散率が既知の非腐食性ガスに適用できます。 MFC2000シリーズ・マスフローコントローラは、流動媒体の熱量と拡散率を測定するSiargo独自のMEMS（微小電気機械システム）熱量計と拡散率センシング技術（Thermal-D ®）で製造されています。従来の熱量センシングと比較したこの技術は、全ダイナミックレンジにおいてはるかに優れた直線性を提供し、熱拡散率が類似したガスに対するガス感度を除去し、ガス換算係数と併用することで測定精度と制御精度を向上させます。また、瞬時の流体温度データを同時に出力し、サーマル・センシング・アプローチの温度性能を向上させます。 ...
SIARGO
流量: 1 l/min - 70 l/min
圧力: 0 MPa - 1 MPa
... 温度、ガス自動検知などがその可能性のひとつです。 このメーターは、Siargo独自のMEMS Thermal-D 質量 流量センシング技術とスマート制御エレクトロニクスで作動します。センサー表面は、性能と信頼性のために、窒化ケイ素セラミック材料と防水・耐油ナノコーティングで不動態化されている。メーター本体はPC＋ABS製で、ほとんどのガスアプリケーションに適しています。 仕様 フルスケール 流量レンジ空気、N2、O2、Ar：1, ...
SIARGO
... 同社はまた、信頼できる顧客のために独自の開発製造も行っている。様々なデータインターフェース、マルチパラメーターセンシング、混合ガス濃度モニタリングなど、お客様のご要望に合わせた製品をご提供いたします。ボタンをクリックしてメッセージをお送りください。 ...
SIARGO