STEINMEYERの圧電ポジショニングステージ

ストローク: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 5 µm

... 14644-1用バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - コントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 100 mm - 300 mm - 繰り返し精度 ± 0.015 µm (一方向) ± 0.02 µm (双方向) - 荷重： → 98 N / ↑ 58 N - 最大速度: 10 ...

ストローク: 1 mm - 10 mm
速度: 0.2 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm

... MT53 高分解能マイクロステージ 用途：多目的マイクロステージ 利点：高分解能スキャン用 特徴：非常に高い分解能での位置決め - 真空：HV/UHVの全圧力範囲、10E-11mbarまで - 潤滑：液体潤滑（10E-8mbarまで）/ドライ潤滑（10E-11mbarまで - 磁気: 磁気 - 最高ベークアウト温度120°C ...

ストローク: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... XYZ位置決めシステム（MT105など）と組み合わせ可能 - 回転アプリケーション用の回転ステージ（DT105など）と組み合わせ可能 - コントローラ FMC400/450 をオプションで提供 技術データ - トラベル：50 mm - 繰り返し精度 ± 0.3μm、±0.5μm（一方向） ...

ストローク: 1 mm - 24 mm
速度: 1 mm/s - 5 mm/s
繰返し精度: 0.03 µm - 5 µm

... マグネットフリー式があります。 - 様々なモーターバリエーションナノモーションまたはピエゾモーター - XYZ位置決めシステム（MT105など）と組み合わせ可能 - 回転アプリケーション用の回転ステージ（DT105など）と組み合わせ可能 - コントローラ FMC400/450 ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 100 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm

... 位置決めシステムとの組み合わせが可能 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - FMC400/450 コントローラー付きオプション 技術データ - 移動量： 100 mm - 繰返し精度： - ± 0.4 µm (一方向) ± 0.5 ...

繰返し精度: 5 µm
積載量: 1 kg - 3 kg

... DT105 ハイダイナミックロータリーステージ DT105ロータリーステージは、高ダイナミクスと高速性を提供します。ピエゾドライブを搭載しており、高分解能角度測定システムとの組み合わせにより、非常に小さなステップサイズで比較的大きなトルクを得ることができます。 柔軟な駆動コンセプト より大きな負荷を位置決めするために、オプションで回転ステージに最大4つのピエゾモーターを装備することが可能です。ロータリーステージは、MT105マイクロステージと組み合わせて多軸システムを構成することも容易です。 ...

積載量: 0.1 kg - 1 kg

... ダイナミック回転ステージ シュタインマイヤー・メカトロニックの製品群の中で最小のステージは、高いダイナミクスとスピードを提供します。DT65はピエゾドライブを搭載し、非常に小さなステップサイズを可能にします。 モーションコントローラ ...

ストローク: 1 mm - 10 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm

... MT53 高分解能マイクロステージ シュタインマイヤー・メカトロニック製品群の中で最小のステージは、非常に高い分解能を提供します。小型化設計により、スペースが限られ、高水準が要求される用途に最適です。 ピエゾモータによる最適なステップサイズ MT53は、クロスローラベアリングとピエゾモータを搭載しており、ナノメートル領域のステップを可能にします。真空および非磁性バージョンでは、このマイクロステージは厳しい環境での使用に最適です。 マイクロマシニングやマイクロアセンブリに最適です： MT53は ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 100 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... MT105 高いダイナミクスとスピードを備えたマイクロステージ MT105は、高いダイナミクスとスピードを特徴とするユニバーサル用マイクロステージです。そのサイズに比べ、ピエゾモータにより大きな移動量と非常に小さなステップサイズを実現しています。 フレキシブルでユニバーサル： MT105には精密クロスローラーベアリングが装備されています。オプションで、このマイクロステージに高荷重位置決め用モーターを2個搭載することも可能です。また、このステージはXYZシステムに簡単に組み合わせることができます ...