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圧力: 1 bar - 3 bar
... 信頼性のあるサーマル方式の流量センサーを搭載したマスフローモジュールです。マルチディスプレイ機能、PI機能を搭載し、シンプル・軽量なガスラインを構築します。±1% S.P.の高精度、1.0秒の高速応答。 PI機能搭載 急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。 ...
流量: 0.014 m³/h - 1,670 m³/h
圧力: 928 Pa - 1,450 Pa
呼び径: 6 mm - 20 mm
... 概要
Series II Standard 質量流量コントローラは、0.014 sccm〜1,670 slpm の広範囲な流量で精密な測定と制御を提供します。産業用途および研究室用途向けに設計され、マルチガス・マルチレンジ対応、通信インタフェースの選択、耐腐食性の316L 湿潤部品を備えています。
主な特長
- 流量範囲：0.014 sccm〜1,670 slpm
- 高精度：±0.5% 読み値 + ±0.1% FS（レンジにより異なる）
- ターンダウン比：1:50（デジタルモードで最大1:187.5）
- 湿潤材/本体材質：316L
流量: 0.005 l/min - 500 l/min
圧力: 0.2 bar - 8 bar
呼び径: 1 mm - 20 mm
... 概要
MFCシリーズは、非腐食性ガス向けの質量流量コントローラで、複数の流量レンジと産業用途に対応します。標準インターフェースはアナログおよびRS485 Modbusで、シリーズによりDeviceNet、ProfiNet、EtherNet、EtherCat、IO-Linkなどのバスオプションを選択可能です。
MFC2000
- 汎用ガス質量流量コントローラ
- フルスケール流量範囲: 50 mLn/min～200 Ln/min
- インターフェース: