Visão geralO NUCLEUS é uma ferramenta pick & place de precisão multiuso projetada para processos 2,5D, fan-out e packaging embutido. Suporta modos face-up e face-down com alinhamento local e global para posicionamento de alta precisão.
Aplicações- Fan-out wafer-level packaging (FOWLP) e integração de dies embutidos
- Processos flip-chip e direct die attach, incluindo imersão em flux
- Manuseio de substratos wafer nus, wafer sobre carrier e substrato sobre carrier
- Aplicações de bonding com alta força e processos térmicos
Principais características- Alinhamento local e global preciso que permite posicionamentos submicrónicos
- Modos de operação face-up e face-down para fluxos de montagem variados
- Manuseio direto de dies e wafers nus, compatível com carriers
- Sistema automático de troca de ferramentas para bonding multi-chip e trocas rápidas de formato
- Suporte a altas forças de bonding e controlo térmico integrado
- Opção de imersão em flux para direct die attach e flip-chip
- Padrão de limpeza Classe 100 durante o bonding para processos sensíveis à contaminação
Outras configurações para o mercado- NUCLEUS XD: capacidade para manuseio de dies extra-grandes até 70 mm × 70 mm
- NUCLEUS XLplus: capacidade para manuseio de substratos extra-grandes até 600 mm × 670 mm
Especificações técnicas- Pick & place de precisão multiuso para aplicações 2,5D, fan-out e embutidas
- Operação: face up e face down
- Alinhamento: sistemas de alinhamento local e global
- Suporte de processos: flip-chip, direct die attach (incl. imersão em flux), altas forças de bonding e bonding térmico
- Manuseio: substrato wafer nu, wafer sobre carrier, substrato sobre carrier
- Automação: trocador automático de ferramenta para bonding multi-chip
- Limpeza: padrão Classe 100 durante o bonding
- Configurações opcionais de grande formato: NUCLEUS XD (≤ 70 mm × 70 mm die), NUCLEUS XLplus (≤ 600 mm × 670 mm substrate)