O Espectrômetro de Emissão de Raios X Soft (SXES) é um espectrômetro de ultra-alta resolução que consiste em uma grade de difração recentemente desenvolvida e uma câmera CCD de raios X de alta sensibilidade.
Da mesma forma que o EDS, a detecção paralela é possível, e a análise de ultra-alta resolução de energia 0,3 eV (Fermi-edge, padrão Al-L) pode ser realizada, superando a resolução de energia do WDS.
Esboço do sistema
O design do sistema óptico do espectrómetro recentemente desenvolvido permite a medição simultânea de espectros com diferentes energias, sem mover a grade difractiva ou o detector (CCD). Com a alta resolução de energia, o mapeamento do estado químico pode ser realizado.
Comparação de SXES, WDS e EDS
Espectros para nitreto de titânio com vários métodos de espectrometria
Para o nitreto de titânio, os picos de N-Kα e Ti-Ll estão sobrepostos. Mesmo com WDS, e é necessária a deconvolução da forma de onda usando um método matemático. Como ilustrado na figura abaixo, há uma alta resolução de energia com SXES, permitindo que o TiLl seja observado.
Exemplo de análise de bateria de iões de lítio (LIB)
O exemplo abaixo mostra mapas de grandes áreas de amostras LIB com diferentes estados de carga. SXES pode mapear o pico Li-K tanto no estado da banda de valência (esquerda) como no estado do solo (meio). Um mapa de distribuição de carbono (à direita) também pode ver a função na LIB que está totalmente descarregada.
Exemplo de medição de elementos leves
Medições de compostos de carbono usando SXES
É possível medir as diferenças entre diamante, grafite e polímeros. As diferenças podem ser observadas com os picos adicionais da colagem de π e σ.
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